恭喜东京毅力科创株式会社荒金俊行获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利除电方法和基片处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111863691B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010299562.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权除电方法和基片处理装置是由荒金俊行;纲本哲;大﨑良规;佐藤雅纪设计研发完成，并于2020-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本除电方法和基片处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种除电方法和基片处理装置。除电方法包括：在静电吸盘上载置有基片的状态下向处理容器内导入气体的步骤；一边对所述静电吸盘的吸附电极施加直流电压一边增大该直流电压的绝对值，直至开始基于所述气体的放电的步骤；在基于所述气体的放电开始后，施加使所述基片的电荷量达到成为0或者接近0的电荷中和区域的所述直流电压的绝对值的步骤；和施加所述直流电压的绝对值直至达到所述电荷中和区域之后，使所述基片从所述静电吸盘脱离的步骤。本发明能够对基片的残留吸附进行充分的除电。
本发明授权除电方法和基片处理装置在权利要求书中公布了：1.一种除电方法，其特征在于，具有：步骤a，在静电吸盘上载置有基片的情况下向处理容器内导入气体；步骤b，一边对所述静电吸盘的吸附电极施加直流电压一边增大该直流电压的绝对值，直至开始基于所述气体的放电；步骤c，在基于所述气体的放电开始之后，施加使所述基片的电荷量达到成为0的电荷中和区域的所述直流电压的绝对值；步骤d，施加所述直流电压的绝对值直至达到所述电荷中和区域之后，使所述基片从所述静电吸盘脱离；步骤e，计算所述基片的残留电荷量；和步骤f，基于计算出的所述残留电荷量，计算使所述基片的电荷量达到所述电荷中和区域的所述直流电压的绝对值，在步骤c中，施加步骤f中计算出的所述直流电压的绝对值，在步骤e中，通过使推升所述基片用的升降销在上下方向上移动来使所述基片振动，并基于此时在所述吸附电极中流动的感应电流来计算所述残留电荷量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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