恭喜中国科学院上海技术物理研究所王欣获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110779462B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911093645.3,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统是由王欣;刘强;周浩;何志平;舒嵘;贾建军设计研发完成,并于2019-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统。由检测设备发出光线经第一补偿透镜和第二补偿透镜透射,至待检凹非球面镜自准后返回。光学系统选用大入射光线孔径角,第一补偿透镜承担较大的非球面法线像差,大大提高了补偿能力,在小口径比条件下实现了非球面球差的平衡;补偿器口径与被检非球面口径比非常小,仅为0.025;采用两片式补偿器结构,补偿透镜数量少、全球面设计,打破了为了检验大口径非球面将补偿系统非球面镜化的设计局限,方案简单,加工周期更短;检验光路像质优良,波像差达到PV值优于0.1λ,适合高精度的非球面面形加工。改进型奥夫纳尔检验可以实现14m超大口径、1:1.43超大相对孔径的非球面镜检验。
本发明授权一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统在权利要求书中公布了:1.一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统,包括待检凹非球面镜(1)、第一补偿透镜(2)和第二补偿透镜(3),其特征在于,所述光学系统的光栏位于待检凹非球面镜(1)上;由检测设备发出的光线经第一补偿透镜(2)和第二补偿透镜(3)透射后,至待检凹非球面镜(1)自准反射,再经第二补偿透镜(3)和第一补偿透镜(2)透射原路回到检测设备;所述的第一补偿透镜(2)的入射光线孔径角与出射光线孔径角之比b1=-2.16,第一补偿透镜(2)与待检凹非球面镜(1)口径比a1=-0.025;所述的第二补偿透镜(3)的入射光线孔径角与出射光线孔径角之比b2=0.79,第二补偿透镜(3)与待检凹非球面镜(1)口径比a2=-0.0075;补偿透镜总的入射光线孔径角与出射光线孔径角之比b=-1.71;所述的第一补偿透镜(2)和第二补偿透镜(3)为K9或石英玻璃材料;所述的待检凹非球面镜(1)材料为金属镜或玻璃镜,面形为二次非球面或高次非球面。
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