恭喜北京怀柔实验室刘瑞获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京怀柔实验室申请的专利用于装载晶圆的晶舟获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222887854U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520597678.6，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型用于装载晶圆的晶舟是由刘瑞;魏晓光;黄志涛;李玲;王耀华;唐新灵;焦倩倩;高雅琦;吴沛飞设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于装载晶圆的晶舟在说明书摘要公布了：一种用于装载晶圆的晶舟，属于半导体制造领域。晶舟（100）包括支撑件（1）和杆状的多个支杆套（2），支杆套（2）彼此平行地且可拆卸地安装在支撑件（1）上，支杆套（2）在支杆套（2）的延伸方向上面向待装载的晶圆一侧设有彼此平行的多个晶圆插槽（21），支杆套（2）设置为彼此共圆地在一圆周方向上排列。通过装载晶圆的晶舟，实现一个晶舟适用于多种厚度晶圆的目的。
本实用新型用于装载晶圆的晶舟在权利要求书中公布了：1.一种用于装载晶圆的晶舟（100），其特征在于，所述晶舟（100）包括支撑件（1）和杆状的多个支杆套（2），支杆套（2）彼此平行地且可拆卸地安装在支撑件（1）上，支杆套（2）在支杆套（2）的延伸方向上面向待装载的晶圆一侧设有彼此平行的多个晶圆插槽（21）；支杆套（2）设置为彼此共圆地在一圆周方向上排列。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京怀柔实验室，其通讯地址为：101400 北京市怀柔区杨雁东一路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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