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恭喜北京清研半导科技有限公司梁刚强获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京清研半导科技有限公司申请的专利一种判断籽晶接液水平度的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115074832B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210918776.6,技术领域涉及:C30B29/36;该发明授权一种判断籽晶接液水平度的装置及方法是由梁刚强;苏奕霖;李强;陈雅薇设计研发完成,并于2022-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。

一种判断籽晶接液水平度的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种判断籽晶接液水平度的装置及方法,其中装置部分包括石墨坩埚、石墨籽晶托、石墨籽晶杆和碳化硅籽晶,将石墨籽晶托上的单个正极石墨电极和两个及以上负极石墨电极置于籽晶托边缘并按照旋转对称排布,使得多个电极处于同一水平面内,将籽晶下降至液面,位于籽晶托上的电极与溶液形成闭合回路电流,并通过外部电流表指针偏转情况来判断籽晶与溶液接触时的水平度,以确保生长界面处流动的稳定性与晶体的高质量生长,为后续的晶体质量分析提供依据。接液过程结束后,导线与石墨电极分离并提拉至生长腔中上部,避免对晶体生长过程产生电磁干扰。此外,石墨电极与导线可多次利用,有效地节约了工艺成本。

本发明授权一种判断籽晶接液水平度的装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种判断籽晶接液水平度的装置,其特征在于:包括石墨坩埚,所述石墨坩埚内盛装有用于碳化硅单晶生长的熔融液;石墨籽晶杆,所述石墨籽晶杆的顶部与不锈钢籽晶杆相连,所述石墨籽晶杆的底端位于所述石墨坩埚的生长腔内,所述石墨籽晶杆可沿所述石墨坩埚的生长腔上下移动;石墨籽晶托,所述石墨籽晶杆的底部连接有所述石墨籽晶托,所述石墨籽晶托上设置有多个石墨电极;多个所述石墨电极包括一个正极石墨电极和两个或两个以上的负极石墨电极,多个所述石墨电极置于所述石墨籽晶托的边缘并以石墨籽晶托的中心点旋转对称排布;每个所述石墨电极与电源连接的回路上均设置有电流表;碳化硅籽晶,所述石墨籽晶托的底部粘接有所述碳化硅籽晶;所述石墨坩埚的外层包裹有保温材料;所述不锈钢籽晶杆通过上下法兰夹具与所述石墨籽晶杆相连接,所述不锈钢籽晶杆用于带动所述石墨籽晶杆沿所述石墨坩埚的生长腔上下移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京清研半导科技有限公司,其通讯地址为:101300 北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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