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龙图腾网恭喜塞梅孔公司申请的专利等离子涂覆系统和用于对工件进行涂覆的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981945B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080092011.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权等离子涂覆系统和用于对工件进行涂覆的方法是由沃尔特·马伊设计研发完成，并于2020-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子涂覆系统和用于对工件进行涂覆的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于将工件30保持在处理室中的装置10。本发明还涉及一种涂覆系统20和一种用于对工件30进行涂覆的方法。本发明的目的是允许精确调节工件30的位置的高度同时以安全且稳定的方式支承工件。这由于下述而实现：保持装置10包括用于工件30的托盘72、以及用于托盘72的高度可调节的第一支承元件22和高度可调节的第二支承元件48，其中，支承元件22、48中的每个支承元件包括至少一个第一和第二肢部元件26、56，并且在每种情况下，第一和第二肢部元件26、56联接成围绕枢转轴线X、Y相对于彼此枢转，第一支承元件22的枢转轴线X布置成与第二支承元件48的枢转轴线Y成一角度。

本发明授权等离子涂覆系统和用于对工件进行涂覆的方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子涂覆系统，包括：处理室，所述处理室具有用于在工件30上产生涂层的相关的等离子涂覆装置，保持装置10，所述保持装置10用于在等离子沉积过程期间将所述工件30保持在所述处理室中，所述保持装置10包括：用于所述工件30的托盘72，用于所述托盘72的高度可调节的第一支承元件22和高度可调节的第二支承元件48，其中，支承元件22、48中的每个支承元件包括至少一个第一肢部元件和至少一个第二肢部元件，其中，相应的所述第一肢部元件和相应的所述第二肢部元件联接成能够围绕枢转轴线X、Y相对于彼此枢转，并且其中，所述第一支承元件22的枢转轴线X布置成与所述第二支承元件48的枢转轴线Y成一角度，其中，所述保持装置10布置成能够在第一位置与第二位置之间移位，并且其中，所述保持装置10在所述第一位置中布置在所述处理室的内部并且在所述第二位置中至少部分地布置在所述处理室的外部，其中，所述第一支承元件22和或所述第二支承元件48包括至少一个轴向弹簧38，所述轴向弹簧38用于在所述第一支承元件22和或所述第二支承元件48的所述枢转轴线X、Y的方向上施加力作用。

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