恭喜天通日进精密技术有限公司李鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜天通日进精密技术有限公司申请的专利多工位开方设备及其切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111844490B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910361097.1,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权多工位开方设备及其切割方法是由李鑫;张峰;钱春军;裴忠;苏静洪设计研发完成,并于2019-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本多工位开方设备及其切割方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种多工位开方设备及其切割方法,属于硅棒加工技术领域。包括至少两个硅棒承载台,用于承载立式置放的单晶硅棒,各所述硅棒承载台具有转动机构;以及线切割装置,设置在所述至少两个硅棒承载台的上方,包括多个切割轮以及绕于所述多个切割轮形成有一条切割线段或相互平行的两条切割线段的切割线。通过本申请的多工位开方设备及其切割方法可同时完成对多个硅棒的开方作业,且使得硅棒在开方处理后截面呈矩形,而已开方硅棒整体呈长方体且形成边皮数量为四个,能够提高硅棒开方的切割作业效率,增大已开方硅棒的横截面面积的同时降低了硅棒开方的整体成本和风险性。
本发明授权多工位开方设备及其切割方法在权利要求书中公布了:1.一种多工位开方设备,用于对截面为圆形的单晶硅棒进行开方作业,其特征在于,包括:至少两个硅棒承载台,用于承载立式置放的单晶硅棒,各所述硅棒承载台具有转动机构;所述至少两个硅棒承载台可设于硅棒工作台上,所述硅棒工作台上设有工作台转换机构,用于驱动所述硅棒工作台作转换运动以令所述硅棒工作台上的硅棒承载台在装卸区和切割区之间转换;以及线切割装置,设置在所述至少两个硅棒承载台的上方,包括多个切割轮以及绕于所述多个切割轮形成有一条切割线段或相互平行的两条切割线段的切割线;所述切割轮包括用于绕设切割线的第一线槽及第二线槽,所述切割轮通过自动换槽机构将切割线由所述第一线槽移至第二线槽内;所述自动换槽机构包括:换槽筒,与所述切割轮相联动,用于带动所述切割轮沿其轴向移动以将所述切割线由所述第一线槽移至第二线槽内,包括筒本体,以及开设于所述筒本体上的相互连通第一导轨及第二导轨,所述第一导轨与第二导轨之间的落差对应于所述第一线槽及第二线槽之间的槽距;定位件,可相对滑动地设置在所述第一导轨或第二导轨内,用于在所述换槽筒沿轴向移动时在所述第一导轨或第二导轨内滑移带动所述换槽筒旋转,以迫使所述切割轮上的切割线由所述第一线槽切换至第二线槽;其中,在开方作业时,驱动所述线切割装置下降,由所述一条切割线段或两条切割线段同时对所述多个硅棒承载台所承载的多个单晶硅棒沿其长度方向进行第一方向侧面的切割;之后,利用所述转动机构驱动硅棒承载台以使所述单晶硅棒转换待切割面,驱动所述线切割装置下降,由所述一条切割线段或两条切割线段同时对所述多个硅棒承载台所承载的多个单晶硅棒沿其长度方向进行第二方向侧面的切割。
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