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龙图腾网恭喜中科纳微真空科技(合肥)有限公司申请的专利一种磁控溅射设备、旋转阴极和端头组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119530742B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510102698.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射设备、旋转阴极和端头组件是由郭江涛;刘远畅设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控溅射设备、旋转阴极和端头组件在说明书摘要公布了：本发明涉及磁控溅射技术领域，公开了一种磁控溅射设备、旋转阴极和端头组件，靶筒安装法兰安装在端头本体的所述安装端上，靶筒安装法兰中部设有与所述进水通道的出水端对应的开口，靶筒安装法兰中部设有围绕所述开口延伸的环形腔室，环形腔室靠近端头本体一侧设有与出水通道的进水端连通的第一冷却剂口，环形腔室远离端头本体一侧设有与靶筒内部空间连通的第二冷却剂口，第二冷却剂口位于靶筒安装法兰边缘。在法兰内部设置环形腔室，进而基于环形腔室将与靶筒内部流道末端连通的第二冷却剂口设置在法兰边缘，保证法兰边缘密封效果的同时，使得第二冷却剂口紧靠靶筒内壁，在充水时靶筒内气体能够彻底排出，无排气死角。

本发明授权一种磁控溅射设备、旋转阴极和端头组件在权利要求书中公布了：1.一种端头组件，其特征在于，包括：端头本体和靶筒安装法兰（202）；端头本体内设有进水通道和出水通道，所述进水通道的出水端和所述出水通道的进水端位于端头本体的安装端，靶筒安装法兰（202）安装在端头本体的所述安装端上，靶筒安装法兰（202）中部设有与所述进水通道的出水端对应的开口，靶筒安装法兰（202）中部设有围绕所述开口延伸的环形腔室，所述环形腔室靠近端头本体一侧设有与所述出水通道的进水端连通的第一冷却剂口（2021），所述环形腔室远离端头本体一侧设有与靶筒（205）内部连通的第二冷却剂口（2022），所述第二冷却剂口（2022）位于靶筒安装法兰（202）边缘；所述第二冷却剂口（2022）包括第一进口部（20221）和第二进口部（20222），所述第一进口部（20221）位于靶筒安装法兰（202）远离端头本体一侧端面，所述第二进口部（20222）位于靶筒安装法兰（202）外周面。

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