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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利一种片盒回流设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361487B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411895891.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种片盒回流设备是由耿彪;张伟;耿超;郭生钢;王强设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种片盒回流设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种片盒回流设备，涉及晶圆清洗技术领域，包括：用于分离或组装片盒及其内部晶圆的上下料机构、晶圆转运机构、片盒转运机构以及晶圆清洗机构，晶圆清洗机构对应晶圆转运机构的运动路径设置，晶圆转运机构带动晶圆进入晶圆清洗机构内进行清洗，晶圆转运机构与片盒转运机构的转运路径两端重合且在端部设置有上下料机构；本发明中将转运以及清洗集成，利用上下料机构可将片盒与晶圆进行分离，分离后的晶圆由晶圆转运机构转运至晶圆清洗机构内完成清洗工艺，分离后的片盒由片盒转运机构转运至末端的上下料机构等待盛装清洗完成后的晶圆，清洗效率得到有效提高。

本发明授权一种片盒回流设备在权利要求书中公布了：1.一种片盒回流设备，其特征在于，包括用于分离或组装片盒及其内部晶圆的上下料机构、用于转运晶圆的晶圆转运机构、用于转运与晶圆分离后的片盒的片盒转运机构以及用于对晶圆进行清洗的晶圆清洗机构，所述晶圆清洗机构对应所述晶圆转运机构的运动路径设置，所述晶圆转运机构带动晶圆进入所述晶圆清洗机构内进行清洗，所述晶圆转运机构与所述片盒转运机构的转运路径两端重合且在端部设置有所述上下料机构；所述上下料机构包括片盒定位件以及具有升降运动功能的晶圆托板，所述片盒定位件对应所述片盒的底部开口设置有供所述晶圆托板升降的通口，所述晶圆托板升降运动于所述片盒定位件的通口以及所述片盒的底部开口中，以将所述晶圆托举或放下，来实现与所述片盒分离或组装；所述晶圆转运机构包括具有升降运动以及于两侧所述上下料机构之间运动功能的晶圆夹爪；所述片盒转运机构包括具有平移及升降运动功能的片盒夹爪、具有升降运动功能的升降托举器以及朝向或远离所述升降托举器运动且具有升降运动功能的转运器，所述转运器带动所述片盒定位件运动，所述升降托举器呈U型，所述升降托举器的开口朝向所述片盒定位件设置，所述片盒定位件用于托举片盒的部位为两个开口背向设置的U型件，两个所述U型件的上表面为托举片盒的托举部位，所述升降托举器的U型开口两端向内设置有与所述U型件内腔相匹配的托块，所述转运器携带所述片盒定位件滑入所述升降托举器的U型内腔中并向下运动将片盒转运至所述升降托举器上，所述片盒夹爪设置在所述升降托举器上方，所述升降托举器设置在所述上下料机构上。

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