宁波优璞半导体科技有限公司叶文君获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波优璞半导体科技有限公司申请的专利一种耐磨型晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119581374B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411840867.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种耐磨型晶圆清洗装置是由叶文君;冯宗华;夏雁宾设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐磨型晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明属于芯片加工技术领域，具体公开了一种耐磨型晶圆清洗装置，包括支撑晶圆的底座、支架、清洁毛刷、安装板，所述底座两侧设有对称设置的支架，对称设置的支架之间设有安装板，安装板顶部两侧设有对称设置的两个主动轮，主动轮下方设有从动轮，支架顶部设有清洁毛刷。本发明采用上述的一种耐磨型晶圆清洗装置，结构简单，通过改变从动轮结构设计，使晶圆始终能保持在竖直的状态下清洗，清洁毛刷能够始终接触晶圆表面，清洁晶圆，避免晶圆报废，通过改变主动轮的轮齿夹角，增强主动轮的耐磨性能，延长使用寿命，降低维修成本。
本发明授权一种耐磨型晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种耐磨型晶圆清洗装置，其特征在于：包括支撑晶圆的底座、支架、清洁毛刷、安装板，所述底座两侧设有对称设置的支架，对称设置的支架之间设有安装板，安装板顶部两侧设有对称设置的两个主动轮，主动轮下方设有从动轮，支架顶部设有清洁毛刷；所述支架顶部设有两个平行设置的转轴，清洁毛刷分别周向设置于两个转轴外表面，且清洁毛刷的长度大于晶圆的直径；所述转轴两端分别与支架转动连接；两个所述主动轮和从动轮之间的连线呈等腰三角形，两个主动轮和从动轮分别与安装板转动连接，主动轮、从动轮分别与晶圆边缘接触；所述从动轮外表面沿周向设有晶圆卡槽，所述卡槽底部设有排液槽，所述卡槽包括竖直部和V形部，竖直部位于V形部上方，且其与V形部连通，V形部与排液槽连通，所述卡槽侧壁厚度为2.9±0.1mm；所述主动轮外表面沿周向设有多个均匀分布的轮齿，相邻轮齿之间设有轮齿槽，所述轮齿边缘与轮齿槽边缘的夹角为圆角设计；所述主动轮与从动轮的材质均为三元过氧氟橡胶。
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