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北京华林嘉业科技有限公司耿彪获国家专利权

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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利晶圆清洗干燥工艺、晶圆干燥机及其清洗干燥结构总成获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119725153B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411783490.7,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权晶圆清洗干燥工艺、晶圆干燥机及其清洗干燥结构总成是由耿彪;徐鹏飞;耿超;郭生钢;王强设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆清洗干燥工艺、晶圆干燥机及其清洗干燥结构总成在说明书摘要公布了:本申请公开了一种晶圆清洗干燥工艺、晶圆干燥机及其清洗干燥结构总成,涉及晶圆清洗设备的领域,可以解决现有技术中的电磁泵和多个口径不同的阀门通过人工调整存在调控精度差的问题。晶圆干燥机包括主体和连接于主体的提升机构,清洗干燥结构总成包括干燥槽体、进液管、IPA鼓泡箱、第一排液管和控制器;干燥槽体于自身槽口处连接有槽盖;第一排液管连接有电磁泵、第一阀门和用于测量第一排液管内液体流速的流量计,电磁泵和流量计均电连接于控制器,以使控制器根据流量计对第一排液管内液体流速的信号反馈控制电磁泵的流量。

本发明授权晶圆清洗干燥工艺、晶圆干燥机及其清洗干燥结构总成在权利要求书中公布了:1.一种晶圆干燥机的清洗干燥结构总成,晶圆干燥机包括主体和连接于主体且用于升降晶圆盒的提升机构,其特征在于,清洗干燥结构总成包括连接于主体的干燥槽体、连接于干燥槽体且用于向干燥槽体内注入清洗液的进液管、连接于干燥槽体且用于向干燥槽体内注入异丙醇蒸汽的IPA鼓泡箱、连接于干燥槽体且用于排出干燥槽体内的清洗液的第一排液管和连接于主体的控制器;干燥槽体于自身槽口处连接有用于密封自身槽口的槽盖;第一排液管连接有电磁泵、第一阀门和用于测量第一排液管内液体流速的流量计,电磁泵和流量计均电连接于控制器,以使控制器根据流量计对第一排液管内液体流速的信号反馈控制电磁泵的流量;干燥槽体包括连接于主体的第一槽体和连接第一槽体的顶部外壁的第二槽体,第二槽体与第一槽体的外壁围成有溢流槽,以使第一槽体内溢流出的清洗液流入溢流槽,溢流槽的槽底连接有第二排液管;进液管连接于第一槽体的侧壁,第一排液管连接于第一槽体的底壁,IPA鼓泡箱连接于第二槽体的侧壁,且IPA鼓泡箱的箱口处高于第一槽体的槽口,槽盖连接于第二槽体的槽口处,第一排液管包括连接于第一槽体的第一段、连接于第一段远离第一槽体的一端的第二段和连接于第二段远离第一段的一端且用于将第一槽体内的清洗液排出至主体外的第三段,电磁泵、第一阀门和流量计连接于第二段,第一排液管连接有第六管道,第六管道的一端连接于第一段和第二段的交汇处,另一端连接于第二段和第三段的交汇处,第六管道连接有第九阀门,第二段的最高处高于第一槽体的槽口处,第三段从靠近第二段的一端到第三段的尾端的内径逐渐增大。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京华林嘉业科技有限公司,其通讯地址为:101111 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十三街18号院30号楼1层101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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