广东工业大学罗翔远获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利基于神经网络的Mini-LED芯片巨量转移误差补偿方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119495618B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411561170.7,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权基于神经网络的Mini-LED芯片巨量转移误差补偿方法是由罗翔远;陈云;马莉;贺梓霖;肖嘉薇;侯茂祥;陈新设计研发完成,并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于神经网络的Mini-LED芯片巨量转移误差补偿方法在说明书摘要公布了:本发明涉及Mini‑LED芯片转移封装技术领域,提出一种基于神经网络的Mini‑LED芯片巨量转移误差补偿方法,所述补偿方法包括步骤:S1:获取AOI复检结果作为第一结果;S2:按照转移顺序对第一结果进行排序,对排序后的第一结果进行归一化处理,得到第二结果;S3:对第二结果中转移状态标识为异常的芯片进行邻近插补,计算每个芯片的路径变量的差分;S4:定义多层神经网络模型,构建损失函数,使用损失函数更新多层神经网络模型的权重直至多层神经网络模型没有出现过拟合;S5:生成芯片转移路径并输入至多层神经网络模型得到转移误差预测值并对芯片实现巨量转移。本发明在开始转移之前将运动路径导出并输入到多层神经网络中,得到预测的转移误差。
本发明授权基于神经网络的Mini-LED芯片巨量转移误差补偿方法在权利要求书中公布了:1.一种基于神经网络的Mini-LED芯片巨量转移误差补偿方法,其特征在于,所述补偿方法包括步骤:S1:获取A0I复检结果作为第一结果,第一结果包括每颗芯片的数据变量,所述数据变量包括转移状态标识、X和Y方向转移误差;S2:去除数据变量中的无关变量,按照转移顺序对第一结果进行排序,对排序后的第一结果进行归一化处理,得到第二结果;S3:对第二结果中转移状态标识为异常的芯片进行邻近插补,并根据X和Y方向转移误差计算极坐标下的芯片距离和芯片位置转角并去除极端值,并根据晶圆上的芯片位置转角计算出芯片的角度信息并转换为直角坐标系信息,以计算每个芯片的路径变量的差分;S4:定义多层神经网络模型以及对应的dropout比例,根据极坐标下的芯片距离及其预测值和芯片位置转角及其预测值构建损失函数,使用优化器和损失函数更新多层神经网络模型的权重直至将测试集中的极坐标下的芯片距离和芯片位置转角、路径变量的差分和第二结果输入到多层神经网络模型后没有出现过拟合;S5:生成芯片转移路径,将芯片转移路径输入至多层神经网络模型得到转移误差预测值,根据转移误差预测值对芯片实现巨量转移。
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