云浮科凝新材料科技有限公司陈新强获国家专利权
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龙图腾网获悉云浮科凝新材料科技有限公司申请的专利一种化学机械抛光用高纯度硅溶胶及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119330358B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411443512.5，技术领域涉及：C01B33/145；该发明授权一种化学机械抛光用高纯度硅溶胶及其制备方法是由陈新强;陈米设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光用高纯度硅溶胶及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及硅溶胶领域，具体公开了一种化学机械抛光用高纯度硅溶胶及其制备方法。所述化学机械抛光用高纯度硅溶胶由如下组分反应制得：有机硅单体、聚丙烯酸钠、十三氟辛基三乙氧基硅烷、溶剂和催化剂。本申请的化学机械抛光用高纯度硅溶胶通过在硅溶胶体系中加入聚丙烯酸钠和十三氟辛基三乙氧基硅烷，二者在硅溶胶配方中起到了协同增效的作用，以及制备过程采用阶梯升温程序，使得最终制得的化学机械抛光用高纯度硅溶胶具有适用于化学机械抛光的粒径范围、不易团聚、不易沉降，且所述硅溶胶用于对硅片化学机械抛光时具有较佳的抛光效果。
本发明授权一种化学机械抛光用高纯度硅溶胶及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光用高纯度硅溶胶，其特征在于，由如下质量份的各组分反应得到：有机硅单体100份聚丙烯酸钠1-3份十三氟辛基三乙氧基硅烷4-15份溶剂100-250份催化剂0.1-5质量份；所述聚丙烯酸钠和十三氟辛基三乙氧基硅烷的质量比为1：（3-5）；所述化学机械抛光用高纯度硅溶胶的制备方法包括如下制备步骤：（1）按配方量称取有机硅单体、聚丙烯酸钠、十三氟辛基三乙氧基硅烷、溶剂和催化剂；（2）向容器中加入溶剂，开机搅拌，加入催化剂调节体系pH为9-10，边搅拌边滴加有机硅单体，并通过阶梯升温程序控制下搅拌进行水解缩聚反应2-8h，再向其中加入聚丙烯酸钠，于95℃搅拌反应2-3h后加入十三氟辛基三乙氧基硅烷并继续于95℃搅拌反应2-3h，即得化学机械抛光用高纯度硅溶胶；所述阶梯升温程序为60-80℃反应2-3h后，再于85-90℃反应2-5h。
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