苏州敏芯微电子技术股份有限公司宫凯勋获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请的专利六轴力传感器及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118882901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411375360.X,技术领域涉及:G01L5/162;该发明授权六轴力传感器及其制造方法是由宫凯勋;吕萍;李刚设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本六轴力传感器及其制造方法在说明书摘要公布了:本申请的实施例公开了一种六轴力传感器及其制造方法,其中六轴力传感器包括:受力块;支撑框架,支撑框架围绕受力块,且受力块与支撑框架之间具有间隙;多组弹性件,多组弹性件设于间隙内,并分别与受力块和支撑框架连接,多组弹性件将间隙分隔成多个第一形变腔;若干力敏电阻,若干力敏电阻设置在弹性件中,以构成六组惠斯通电桥,分别用于测量第一力、第二力、第三力、第一力矩、第二力矩以及第三力矩;每组弹性件包括一对间隔设置的弹性梁;任意一对弹性梁与受力块和支撑框架围合成第二形变腔。根据本申请,其双弹性梁结构为力敏电阻提供了可布置的空间,实现了测量力、力矩与非测量力、力矩间的自解耦,提高了本申请的六轴力传感器的精准性。
本发明授权六轴力传感器及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种六轴力传感器,其特征在于,包括:受力块;支撑框架,所述支撑框架围绕所述受力块,且所述受力块与所述支撑框架之间具有间隙;多组弹性件,多组所述弹性件设于所述间隙内,并分别与所述受力块和所述支撑框架连接,多组所述弹性件将所述间隙分隔成多个第一形变腔,所述第一形变腔用于容纳所述弹性件的变形;每组所述弹性件由一对间隔设置的弹性梁组成;任意一对所述弹性梁与所述受力块和所述支撑框架围合成第二形变腔,所述第二形变腔用于容纳所述弹性梁的变形;若干力敏电阻,所述若干力敏电阻设置在所述弹性梁中,以构成六组惠斯通电桥,各惠斯通电桥均由四个力敏电阻组成,分别用于测量第一力、第二力、第三力、第一力矩、第二力矩以及第三力矩;所述六轴力传感器具有第一平面,在所述第一平面内具有相交且垂直的第一轴向和第二轴向,所述第一力的方向沿所述第一轴向延伸,所述第二力的方向沿所述第二轴向延伸,所述第三力的方向沿垂直于所述第一平面的第三轴向延伸,所述弹性件的一侧表面在所述第一平面内,所述若干力敏电阻均设置在所述第一平面内,在所述第一平面内设有一中心点,用以测量所述第一力、所述第二力或所述第三力的所述惠斯通电桥中的力敏电阻在所述第一平面内关于所述中心点旋转对称;用以测量第一力矩、第二力矩以及第三力矩的惠斯通电桥中的力敏电阻在第一平面内关于所述第一轴向或所述第二轴向对称;其中,用于测量第一力的惠斯通电桥中的两个力敏电阻分别设置在所述受力块关于所述第二轴向的一侧的一对所述弹性梁上,另两个力敏电阻分别设置在另一侧的一对所述弹性梁上;用于测量第二力的惠斯通电桥中的两个力敏电阻分别设置在所述受力块关于所述第一轴向的一侧的一对所述弹性梁上,另两个力敏电阻分别设置在另一侧的一对所述弹性梁上;用于测量第三力的惠斯通电桥中的两个力敏电阻设置在所述受力块关于所述第一轴向或第二轴向的一侧的一所述弹性梁上,另两个力敏电阻均设置在另一侧的一所述弹性梁上。
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