彤程电子材料(常州)有限公司;上海彤程电子材料有限公司张宁获国家专利权
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龙图腾网获悉彤程电子材料(常州)有限公司;上海彤程电子材料有限公司申请的专利一种复合抛光垫及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118952032B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411315640.1,技术领域涉及:B24B37/24;该发明授权一种复合抛光垫及其制备方法和应用是由张宁;王福正;王文芳;董栋设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合抛光垫及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种复合抛光垫及其制备方法和应用,涉及抛光材料工艺技术领域。本发明的复合抛光垫包括组分:无纺布、聚酯、单硬脂酸甘油酯和填料;所述无纺布为聚丙烯酰胺和丙三醇混合液处理后的纤维无纺布,聚丙烯酰胺和丙三醇的质量比为20‑40:1;所述聚酯选自分子量5000‑20000的聚氨基甲酸酯;制备方法包括步骤:1纤维预处理:将纤维与分散液混合,打浆分散、超声处理;2将聚氨基甲酸酯和单硬脂酸甘油酯溶液混合得到聚合物溶液;聚合物溶液与填料混合,得到浸润液;3加压浸润、表面打磨,得到复合抛光垫。本发明所制备的复合抛光垫兼具高抛光速率和高耐磨性,被广泛应用于晶圆抛光处理中。
本发明授权一种复合抛光垫及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种复合抛光垫,其特征在于,包括组分:无纺布、聚酯、单硬脂酸甘油酯和填料;所述无纺布为聚丙烯酰胺和丙三醇混合液处理后的纤维无纺布,聚丙烯酰胺和丙三醇的质量比为20-40:1;所述聚酯为5000-20000分子量的聚氨基甲酸酯;所述聚氨基甲酸酯与单硬脂酸甘油酯的质量比为10:0.5-2;所述填料为二氧化硅,二氧化硅纳米粒子的粒径为10-20nm。
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