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龙图腾网获悉江西红森科技有限公司申请的专利芯片超细线路的生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119167874B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411314568.0，技术领域涉及：G06F30/3953；该发明授权芯片超细线路的生产工艺是由文伟峰;李进;申再创;相兴兴;王坤;申再朋设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本芯片超细线路的生产工艺在说明书摘要公布了：本申请提供了一种芯片超细线路的生产工艺，涉及智能芯片生产领域，其采用基于深度学习的图像处理和分析技术来进行电路图案显微图像和电路图案设计图像的特征提取和显著特征优化，以此基于优化后的显微图像和优化后的设计图像特征之间的语义交互匹配系数与预设阈值之间的比较来自动地生成缺陷检测结果。这样，能够识别出传统方法难以发现的微小缺陷，提高了检测的灵敏度和准确性。同时，能够适应不同类型的缺陷和不同批次的晶圆，提高了检测系统的灵活性和自动化水平。

本发明授权芯片超细线路的生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种芯片超细线路的生产工艺，其特征在于，包括：提供硅晶圆；将所述硅晶圆放入高温炉中进行氧化处理以在所述硅晶圆的表面形成一层二氧化硅膜以得到氧化硅晶圆；在所述氧化硅晶圆上涂布一层光致抗蚀剂，并使用光刻机将设计好的电路图案投影到所述光致抗蚀剂，并通过紫外线进行曝光处理以得到电路图案；对所述电路图案进行基于显微图像的缺陷检测以得到缺陷检测结果；响应于所述缺陷检测结果为不存在缺陷，对所述具有电路图案的氧化硅晶圆进行蚀刻处理以去除暴露在外的硅层并形成所需的超细线路；基于电路设计需求，在特定区域引入杂质原子以改变所述特定区域的电学性质，并制作互连线路以得到芯片；对所述芯片进行电气性能测试以得到测试结果；响应于所述测试结果为不存在缺陷，对所述芯片进行封装；其中，对所述电路图案进行基于显微图像的缺陷检测以得到缺陷检测结果，包括：采集所述电路图案的显微图像；从数据库提取所述电路图案的设计图像；将所述电路图案的显微图像和所述电路图案的设计图像分别输入电路图案特征提取器以得到电路图案显微特征图和电路图案设计特征图；将所述电路图案显微特征图和所述电路图案设计特征图输入基于网格能量显著性引导的特征门控增强模块以得到电路图案显微优化特征图和电路图案设计优化特征图；将所述电路图案显微优化特征图和所述电路图案设计优化特征图输入基于能量密集交互分布的序列间匹配网络以得到序列间语义匹配系数；基于所述序列间语义匹配系数，生成所述缺陷检测结果；其中，将所述电路图案显微特征图和所述电路图案设计特征图输入基于网格能量显著性引导的特征门控增强模块以得到电路图案显微优化特征图和电路图案设计优化特征图，包括：对所述电路图案显微特征图进行网格划分以得到电路图案显微局部特征图的集合；计算所述电路图案显微局部特征图的集合中的各个电路图案显微局部特征图的能量显著性描述因子以得到电路图案显微局部能量显著性描述因子的集合；将所述电路图案显微局部能量显著性描述因子的集合输入基于门控函数的局部特征自适应选择器以得到电路图案显微局部显著调制权重的集合；以所述电路图案显微局部显著调制权重的集合中的各个电路图案显微局部显著调制权重作为权重，分别对所述电路图案显微局部特征图的集合中的各个电路图案显微局部特征图进行加权以得到电路图案显微局部增强特征图的集合；将所述电路图案显微局部增强特征图的集合按照所述网格划分的方式进行特征聚合以得到电路图案显微局部显著引导增强特征图；将所述电路图案显微局部显著引导增强特征图输入基于空洞卷积层的特征匀散模块以得到所述电路图案显微优化特征图。

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