先导薄膜材料(广东)有限公司李开杰获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高透过率的氧化铟铽钽钛钬靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117209254B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311187603.2，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种高透过率的氧化铟铽钽钛钬靶材及其制备方法是由李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇;罗斯诗设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高透过率的氧化铟铽钽钛钬靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种高透过率的氧化铟铽钽钛钬靶材的制备方法，所述方法具体为：采用质量比为94.8～96.2:0.1～0.5:1.0～1.3:2.0～2.5:0.7～0.9的氧化铟粉末、氧化铽粉末、氧化钽粉末、氧化钛粉末和氧化钬粉末制备成为靶材前驱体，然后进行有氧烧结。该靶材的氧化铟控制在96.5％以下，通过铽钽钛钬的掺杂，可以提高透过率和降低电阻率。同时，本发明还公开了该靶材。
本发明授权一种高透过率的氧化铟铽钽钛钬靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高透过率的氧化铟铽钽钛钬靶材的制备方法，其特征在于，所述方法具体为：采用质量比为94.8～96.2:0.1～0.5:1.0～1.3:2.0～2.5:0.7～0.9的氧化铟粉末、氧化铽粉末、氧化钽粉末、氧化钛粉末和氧化钬粉末制备成为靶材前驱体，然后进行有氧烧结。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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