恭喜拓荆科技股份有限公司郑旭东获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113764302B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010501266.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法是由郑旭东设计研发完成，并于2020-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法在说明书摘要公布了：本发明是属于一种集成电路生产设备技术领域，具体提供了一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法，适用于各种半导体设备装配、调试、检查、测试，将支撑组件的各个需要调试的部件进行高度水平调试后，直接可以对准安装在半导体设备上，无需再调试。本方案提供一种线下操作的可能性，从而让操作人员可以方便快捷的完成支撑组件的装配、检查、测试，提高生产效率，提高生产质量，降低劳动强度。
本发明授权一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法在权利要求书中公布了：1.一种支撑组件，安装在半导体设备的加工腔室内，其特征在于：所述的支撑组件上设有支撑架，支撑架上设有一安装板，还设有两组支撑结构，所述的支撑结构包括一中间安装柱，以及环绕该安装柱成均匀分布的三个浮动环支杆；在三个浮动环支杆形成的圆的内侧靠近中间安装柱还设有一支板支杆，该支杆上端固定有一呈V形的销支板，所有的支杆高度可调；还包括两个电机，分别与安装柱连接，用于控制加热盘的高度；三个所述浮动环支杆设置在浮动环支杆支架上，所述浮动环支杆支架设置在所述支撑架上配合滑块及垫块可以实现在所述支撑架上上下左右滑动，进而带动所述浮动环支杆移动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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