恭喜圆益IPS股份有限公司刘成真获国家专利权
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龙图腾网恭喜圆益IPS股份有限公司申请的专利基板支承架及设置有此支承架的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114743921B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210447474.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板支承架及设置有此支承架的基板处理装置是由刘成真;韩在柄;柳智焕设计研发完成，并于2017-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支承架及设置有此支承架的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置，尤其涉及一种对基板执行蚀刻、沉积等的基板处理的基板处理装置。本发明公开了一种基板处理装置，其特征在于，包括：工序腔室，形成对外部导入的两张直四角形基板执行基板处理的处理空间，及基板支承架，设在所述工序腔室内，从而支承所述两张直四角形基板。
本发明授权基板支承架及设置有此支承架的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：工序腔室，形成能够对分割为两张前的直四角形基板执行基板处理的处理空间；及基板支承架，设在所述工序腔室内，且具有分别支撑所述分割为两张前的直四角形基板被分割后形成的两张直四角形基板的一对支承区域，所述基板处理装置还包括提升杆组合，所述提升杆组合设置于所述工序腔室，并包括多个提升杆，所述多个提升杆以贯通所述基板支承架而能够上下移动的方式设置，所述提升杆组合包括：一对中央提升杆，沿着作为所述两张直四角形基板相互面对的边界部分的所述基板支承架的中央部而设置，并分别支承相互邻接的所述两张直四角形基板各自的边缘底面；及中央提升杆升降部，沿着所述基板支承架的中央部而设置，依靠单一驱动源的升降驱动，使所述一对中央提升杆同时上下驱动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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