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龙图腾网恭喜FEI公司申请的专利扫描电子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113223913B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110223041.7，技术领域涉及：H01J37/18；该发明授权扫描电子显微镜是由K.D.范德马斯特;A.F.J.汉曼;W.H.C.瑟乌斯;S.R.M.斯多科斯设计研发完成，并于2017-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本扫描电子显微镜在说明书摘要公布了：一种扫描电子显微镜（1），其包括处于电子光学成像系统（2）与样品载体（10）之间的滑动真空密封装置（20），该滑动真空密封装置（20）具有第一板（22），该第一板（22）具有与电子光学成像系统相关联的第一孔径（24），并且靠在第二板（26）上，该第二板（26）具有与样品载体相关联的第二孔径（28）。第一板和或第二板包括环绕第一孔径和或第二孔径的凹槽（40）。扫描电子显微镜可以包括相对于电子束可移动的检测器（8）。扫描电子显微镜可以包括用于沿无碰撞路径移动样品载体的运动控制单元。

本发明授权扫描电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种扫描电子显微镜，包括：电子光学成像系统，其包括电子束源和电子检测器，样品载体，其处于所述电子束源与所述电子检测器之间，所述样品载体相对于电子束是可移动的以用于移动样品，以及其中所述电子检测器相对于所述电子束是可移动的，其中所述电子检测器被布置用于与所述样品载体同步移动，其中所述电子检测器固定连接到可移动的样品载体，磁透镜，被包括在所述样品与所述电子检测器之间，其中所述磁透镜相对于所述电子束是可移动的，其中所述磁透镜被布置用于与所述样品载体同步移动，其中所述磁透镜固定连接到所述可移动的样品载体，其中所述样品载体在用于装载样品的装载位置与用于对所述样品成像的成像位置之间是可移动的，其中所述扫描电子显微镜包括处于所述电子光学成像系统与所述样品载体之间的滑动真空密封装置，其中所述滑动真空密封装置包括第一板，所述第一板具有与所述电子光学成像系统相关联的第一孔径，并且靠在第二板上，所述第二板具有与所述样品载体相关联的第二孔径，所述第一板和第二板相对于彼此是可滑动移动的，所述第一孔径和第二孔径在所述成像位置中重叠，并且所述第一孔径和第二孔径在所述装载位置中不重叠，其中所述第一板和或第二板包括环绕所述第一孔径和或第二孔径的凹槽，其中所述凹槽被布置用于与真空系统连通。

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