买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板拍摄装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114071076B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111214841.9，技术领域涉及：H04N7/18；该发明授权基板拍摄装置是由古闲法久;西山直;野田康朗设计研发完成，并于2017-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板拍摄装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板拍摄装置。抑制设备事故且谋求基板拍摄装置的小型化和低成本化。检查单元U3包括：保持台，其构成为保持晶圆W而使晶圆W旋转；镜构件430，其具有反射面432，该反射面432相对于保持台的旋转轴线倾斜，并且与保持到保持台的晶圆W的端面Wc和背面Wb的周缘区域Wd相对；照相机，其具有拍摄元件，来自被保持到保持台的晶圆W的表面Wa的周缘区域Wd的光、以及来自被保持到保持台的晶圆W的端面Wc的光被镜构件430的反射面432反射而成的反射光都经由镜头输入该拍摄元件。

本发明授权基板拍摄装置在权利要求书中公布了：1.一种基板拍摄装置，其包括：旋转保持部，其构成为保持基板而使该基板旋转；镜构件，其具有反射面，该反射面相对于所述旋转保持部的旋转轴线倾斜，并且与被保持到所述旋转保持部的所述基板的端面及背面的周缘区域相对；第1照相机，其具有拍摄元件，来自被保持到所述旋转保持部的所述基板的表面的第1光、以及来自被保持到所述旋转保持部的所述基板的端面的第2光被所述镜构件的反射面反射而成的反射光都经由镜头输入该拍摄元件；第1光源，其配置于比被保持到所述旋转保持部的所述基板的表面靠上方的位置；以及第1半透明反射镜，其配置于所述第1光源与所述基板的表面之间，该第1半透明反射镜构成为透过来自所述第1光源的光，且反射所述第1光和所述反射光，其中，所述第1照相机与所述第1半透明反射镜沿着水平方向排列地配置，该基板拍摄装置还包括焦点调节透镜，该焦点调节透镜构成为使所述基板的端面的成像位置对准所述拍摄元件，所述焦点调节透镜以使所述第1光不通过该焦点调节透镜且所述反射光通过该焦点调节透镜的方式配置于所述第2光被所述镜构件的所述反射面反射而成的反射光的从所述反射面到达所述镜头为止的之间的光路的中途。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。