成都市精鹰光电技术有限责任公司黄梅获国家专利权
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龙图腾网获悉成都市精鹰光电技术有限责任公司申请的专利一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114772546B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210389550.1，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法是由黄梅;袁秋雁;毛敏设计研发完成，并于2022-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法，该方法可以用来改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触。首先，该方法通过离子注入技术，将钨与钛作为掺杂元素，注入区域为氧化钒薄膜中与钛电极接触的区域。其次，注入元素选择钨与钛可以有效降低氧化钒接触区域的电阻，获得优异的金半接触，从而降低氧化钒本身的1f噪声，有助于获得低噪声器件；此外通过掺杂钨元素还可以提高氧化钒薄膜TCR，提升器件信噪比。第三，离子注入后的热处理方式为脉冲电流快速退火，可以实现晶格修复，同时快速退火可以避免升温过程中的失氧，从而减小氧空位，使氧化钒电阻不会降低太多。
本发明授权一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法在权利要求书中公布了：1.一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法，其特征在于，该方法为离子注入，注入区域为微测辐射热计结构中氧化钒与钛电极接触区域；注入元素为Ti、W、Mo、V、Ta中的一种或两种，元素质量比例在50%~75%；注入剂量6×1015~9×1016，注入深度为10nm~20nm；在注入后对该结构进行脉冲电流快速退火，规定其真空度优于1×10-3Pa，脉冲频率为10~100Hz，所需电流密度为4~7×103Amm2，脉冲宽度为5~50μs退火温度为250~400℃，加热时间为0.1~15s。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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