杭州电子科技大学肖路生获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种基于微型电加热器的电光调制器件及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115047655B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210383255.5,技术领域涉及:G02F1/03;该发明授权一种基于微型电加热器的电光调制器件及其制作方法是由肖路生;胡鑫;李闰虎;张鉴;张雪峰设计研发完成,并于2022-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于微型电加热器的电光调制器件及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于微型电加热器的电光调制器件及其制作方法,器件包括衬底层和覆盖层,衬底层分为上下两层,覆盖层的中间向上凸起,使得覆盖层和衬底层之间存在空间,空间内设有若干金纳米盘,每个金纳米盘上设有相变材料,覆盖层覆盖在相变材料上,覆盖层的两边设有金属电极。本发明的一种基于微型电加热器的电光调制器件由二氧化硅衬底、金纳米盘、相变材料、顶部的覆盖层和金属电极等多层复合构成,金属电极作为器件的电极调控单元,覆盖层作为光场调控单元,通过外部施加电压,使覆盖层不断产生焦耳热驱动相变材料发生相变,使其光学介电常数发生显著改变,从而实现对中红外波段光的动态电光调制。
本发明授权一种基于微型电加热器的电光调制器件及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种基于微型电加热器的电光调制器件,其特征是,包括衬底层和覆盖层,所述衬底层分为上下两层,上层材料为二氧化硅,下层材料为硅,所述覆盖层的中间向上凸起,使得覆盖层和衬底层之间存在空间,空间内设有若干金纳米盘,每个金纳米盘上设有相变材料,覆盖层覆盖在相变材料上,覆盖层的两边设有金属电极。
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