浙江大华技术股份有限公司刘学获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大华技术股份有限公司申请的专利晶棒静置完成确定方法、晶棒粘胶系统和计算机设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114823418B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210253031.2,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权晶棒静置完成确定方法、晶棒粘胶系统和计算机设备是由刘学;柯建华;徐迎设计研发完成,并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶棒静置完成确定方法、晶棒粘胶系统和计算机设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种晶棒静置时间确定方法、晶棒粘胶系统和计算机设备。方法包括:获取目标晶棒;目标晶棒为粘胶后的晶棒,使用热成像设备对目标晶棒的温度进行测量,得到目标晶棒的温度,判断目标晶棒的温度是否在设置的阈值范围内,如果是,则确认目标晶棒静置完成。采用本方法能够及时、准确的确定晶棒静置是否完成,减少人工成本,提高了晶棒切片的成品率和效率。
本发明授权晶棒静置完成确定方法、晶棒粘胶系统和计算机设备在权利要求书中公布了:1.一种晶棒静置完成确定方法,其特征在于,应用于晶棒粘胶系统,所述系统包括热成像设备、扫码设备和晶棒粘胶设备,所述方法包括:获取待粘胶晶棒;如果接收到信息管理平台发送的晶棒粘胶请求,使用所述晶棒粘胶设备对所述待粘胶晶棒进行粘胶,得到目标晶棒;获取所述目标晶棒;所述目标晶棒为粘胶后的晶棒;使用所述热成像设备对所述目标晶棒的温度进行测量,得到所述目标晶棒的温度;将所述目标晶棒的温度以及所述目标晶棒的标识信息发送至信息管理平台,以使得所述信息管理平台在显示单元中显示所述目标晶棒的温度以及所述目标晶棒的标识信息;所述标识信息通过所述扫码设备对所述目标晶棒的标识进行扫描获取;所述标识信息包括所述目标晶棒的身份信息、目标晶棒的位置信息和目标晶棒到达各个工序节点的时间;判断所述目标晶棒的温度是否在设置的阈值范围内,如果是,则说明所述目标晶棒的温度达到工艺要求,确认所述目标晶棒静置完成。
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