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龙图腾网获悉西安思微传感科技有限公司申请的专利一种硅压力传感器的温度补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114509190B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210189487.7，技术领域涉及：G01L1/18；该发明授权一种硅压力传感器的温度补偿方法是由赵虎;申建武;徐林鹏;王淞立设计研发完成，并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅压力传感器的温度补偿方法在说明书摘要公布了：本发明涉及传感器技术领域，且公开了一种硅压力传感器的温度补偿方法，包括步骤，首先定义一组参数，采集数据，在不同的温度点和不同压力点下，对压力传感器的输出和桥路电压值进行采集，观察传感器的输出数据与桥路电压数据随基准压力值是单调增加，还是单调减少，该硅压力传感器的温度补偿方法，通过使传感器的输出与桥路电压进行数学运算的结果用作温度信息对传感器进行温度补偿，使得压力传感器的温度信息对压力信息不敏感，从而提高了压力传感器的温度补偿精度。对比用外置温度传感器进行测温补偿的方法，本发明所用的硬件开销较少，并且克服了外置温度传感器与压力传感器的温度梯度问题，用该方法可提高传感器在快速温变环境中的精度。

本发明授权一种硅压力传感器的温度补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种硅压力传感器的温度补偿方法，其特征在于：包括步骤；S1：首先定义一组参数，采集数据；S2：在不同的温度点和不同压力点下，对压力传感器的输出和桥路电压值进行采集，P为传感器输出采集数据；T为桥路电压采集数据；S3：观察传感器的输出数据与桥路电压数据随基准压力值是单调增加，还是单调减少，并取得中间数组M；S4：定义每个温度的系数进行计算得到均值Havg；S5：计算中间数组M*Havg+P，得到数组Temp，并取得均值；所述S1定义的参数为A1，A2，……AN表示N个温度值，该温度值的取得可由温度设备；B1，B2，BM表示M个基准压力值，该基准压力值的取得可由高精度压力控制器给出，在保压一定时间后达到；所述S1中还包括所述S11,所述S11对压力传感器的输出和桥路电压值进行采集，由于电流源供电时桥路电压值可以反应桥路电阻的大小，因此桥路电阻可用桥路电压表示，若为电压源供电，则测量与惠斯通电桥串联的采样电阻电压，可以推算出桥路电阻的大小；所述S3中还包括S31，所述S31观察传感器的输出数据与桥路电压数据随基准压力值变大是单调增加，还是单调减少，若传感器输出与桥路电压的单调性相同，则用比所有桥路电压采集数据大一位的，能够被10整除的正整数减去每一个桥路电压采集数据，得到中间数组M；若传感器输出与桥路电压的单调性不同，将桥路电压采集数据直接视作中间数组M；所述S5中还包括S51,所述S51取每个温度AN下的Temp中的对应元素，并取均值，即可表征该温度下的温度值，利用数据使用线性插值、三次样条插值或是多项式拟合算法得出温度补偿。

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