长春长光圆辰微电子技术有限公司蔡雨杉获国家专利权
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龙图腾网获悉长春长光圆辰微电子技术有限公司申请的专利一种用凹口型晶圆加工设备对平边型晶圆加工的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242569B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111527214.0，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种用凹口型晶圆加工设备对平边型晶圆加工的方法是由蔡雨杉;叶武阳;于乐;孙萱;李闯设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用凹口型晶圆加工设备对平边型晶圆加工的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用凹口型晶圆加工设备对平边型晶圆加工的方法，包括以下步骤：准备与待加工的平边型晶圆相同尺寸的凹口型晶圆；将待加工的平边型晶圆的非加工面进行化学机械平坦化；将非加工面与凹口型晶圆的加工面键合固定；使用凹口型晶圆加工设备对键合后的平边型晶圆进行加工。本发明解决了凹口型晶圆加工设备无法加工平边型晶圆的问题，提高了机台对不同类型晶圆加工的兼容性，减少生产制造中的困难。
本发明授权一种用凹口型晶圆加工设备对平边型晶圆加工的方法在权利要求书中公布了：1.一种用凹口型晶圆加工设备对平边型晶圆加工的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、准备与待加工的平边型晶圆尺寸相同的凹口型晶圆；S2、将待加工的平边型晶圆的非加工面进行化学机械平坦化；S3、将所述非加工面与凹口型晶圆键合固定；所述非加工面与所述凹口型晶圆的正面键合时，所述凹口型晶圆的凹口对称地放置于待加工的平边型晶圆的中心线上；S4、使用凹口型晶圆加工设备对键合后的平边型晶圆进行加工。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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