富士胶片株式会社青岛圭佑获国家专利权
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龙图腾网获悉富士胶片株式会社申请的专利微镜器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115461666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180030386.9,技术领域涉及:G02B26/10;该发明授权微镜器件是由青岛圭佑设计研发完成,并于2021-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本微镜器件在说明书摘要公布了:本发明的微镜器件1具备:反射镜部12;第1致动器14,在反射镜部12的周围配置成环状且使反射镜部12绕第1轴a1往复转动;及第2致动器16,使反射镜部12绕第2轴a2往复转动,并且使反射镜部12和第1致动器14绕第1轴a1以彼此相反的相位转动的最低阶的共振模式的共振频率A、反射镜部12和第1致动器14在与第1轴a1及第2轴a2均正交的方向上以相反的相位振动的共振模式中最低阶的共振模式的共振频率B、共振频率A与共振频率B的频率差分F=A‑B,小于频率差分F且最接近频率差分F的共振频率C、大于频率差分F且最接近频率差分F的共振频率D满足F‑C≥20Hz及F‑D≤‑150Hz。
本发明授权微镜器件在权利要求书中公布了:1.一种微镜器件,其具有反射镜部,所述反射镜部具有反射入射光的反射面,所述微镜器件通过使所述反射镜部绕彼此交叉的第1轴及第2轴这两个轴分别往复转动来二维地改变所述反射面的朝向,其中,该微镜器件具备:第1致动器,其在所述反射镜部的周围配置成环状,并具有第1压电元件,并且与所述反射镜部连接且通过使所述第1压电元件周期性地变形而使所述反射镜部绕所述第1轴往复转动;及第2致动器,其具有第2压电元件,并且通过使所述第2压电元件周期性地变形而使所述反射镜部绕所述第2轴往复转动,将不同共振频率的多个共振模式中所述反射镜部和所述第1致动器绕所述第1轴以彼此相反的相位往复转动的最低阶的共振模式的共振频率设为A,将所述多个共振模式中所述反射镜部和所述第1致动器在与所述第1轴及所述第2轴均正交的方向上以相反的相位振动的最低阶的共振模式的共振频率设为B,将所述共振频率A与所述共振频率B之差A-B设为频率差分F,将所述多个共振模式中具有频率小于所述频率差分F的共振频率且具有最接近所述频率差分F的共振频率的共振模式的共振频率设为C,将所述多个共振模式中具有频率大于所述频率差分F的共振频率且具有最接近所述频率差分F的共振频率的共振模式的共振频率设为D,在该情况下,所述频率差分F与所述共振频率C之差ΔF1满足ΔF1=F-C≥20Hz,并且,所述频率差分F与所述共振频率D之差ΔF2满足ΔF2=F-D≤-150Hz。
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