爱德华兹真空泵有限责任公司M·H·R·蒂尔利获国家专利权
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龙图腾网获悉爱德华兹真空泵有限责任公司申请的专利真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115176329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019033.9，技术领域涉及：H01J41/20；该发明授权真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法是由M·H·R·蒂尔利设计研发完成，并于2021-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法在说明书摘要公布了：用于在具有容积吸气剂泵和离子吸气剂泵的真空设备中再生容积吸气剂泵的方法，其中降低离子吸气剂泵的操作电压，记录通过离子吸气剂泵的电流以确定真空设备中的压力，并且然后根据离子吸气剂泵的电流控制NEG的加热元件，目的是加热NEG材料。
本发明授权真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在具有容积吸气剂泵NEG和离子吸气剂泵的真空设备中再生NEG的方法，其中将所述离子吸气剂泵的操作电压降低至下述电压，在该电压处，所述离子吸气剂泵不再执行任何有效泵送，但是所述离子吸气剂泵持续产生电流，记录通过所述离子吸气剂泵的电流以确定所述真空设备中的压力，其中，通过所述离子吸气剂泵的所述电流与所述真空设备内的压力成正比，并且根据通过所述离子吸气剂泵的电流来控制所述NEG的加热元件，目的是加热所述NEG的NEG材料，同时维持所述离子吸气剂泵的所述操作电压为下述电压，在该电压处，所述离子吸气剂泵不再执行任何有效泵送，但是所述离子吸气剂泵持续产生所述电流。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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