华景电通股份有限公司许圣奇获国家专利权
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龙图腾网获悉华景电通股份有限公司申请的专利晶圆承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114724989B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110011770.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆承载装置是由许圣奇;林祺浩;胡瀚承设计研发完成，并于2021-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载装置在说明书摘要公布了：一种晶圆承载装置，包括:具有吹净系统的机台本体、承载台，设置于机台本体上且承载台上包括可旋转的承载盘，其中承载盘用以承载晶圆盒；背板，设置于机台本体上且与承载台呈垂直设置；传感器设置于承载台和背板二者至少之一处，用以感测晶圆盒上的充气口位置；以及多个吹气口分别设置于承载台和背板上，其中，吹净系统透过多个吹气口提供洁净气体至晶圆盒内。
本发明授权晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：机台本体，至少由承载台及背板组成，所述承载台与水平面平行，且所述承载台与所述背板呈垂直设置，所述机台本体包括：承载盘，设置于所述承载台上，用以承载晶圆盒；传感器，用以感测在所述承载盘上的所述晶圆盒的多个充气口的所在位置；以及吹净系统，设置于所述机台本体内，具有多个第一吹气口设置于所述承载盘上及多个第二吹气口设置于所述背板上，所述吹净系统根据所述传感器感测所述晶圆盒的所述充气口的所述所在位置，并透过所述第一吹气口或所述第二吹气口提供洁净气体至所述晶圆盒内，其中，当所述传感器感测到所述晶圆盒的所述充气口的所述所在位置在所述晶圆盒的底部时，则所述吹净系统经由所述承载台的所述第一吹气口提供所述洁净气体，并由所述晶圆盒的所述底部进入所述晶圆盒内对所述晶圆盒进行充气；当所述传感器未感测到在所述晶圆盒的底部具有所述充气口时，则所述晶圆承载装置启动旋转模块将所述承载盘予以旋转，使得在所述承载盘上的所述晶圆盒的前门的多个充气口对应于在所述背板上的所述第二吹气口，则所述吹净系统经由所述背板上的各所述第二吹气口提供所述洁净气体，并由所述晶圆盒的所述前门进入所述晶圆盒内，且对所述晶圆盒进行充气。
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