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住友大阪水泥股份有限公司日高宣浩获国家专利权

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龙图腾网获悉住友大阪水泥股份有限公司申请的专利陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114787984B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080085106.X,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法是由日高宣浩;三浦幸夫;有川纯;钉本弘训设计研发完成,并于2020-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法在说明书摘要公布了:一种陶瓷接合体1,其具备:一对陶瓷板2、3,包含导电性物质;导电层4及绝缘层5,介于一对陶瓷板2、3之间;及一对中间层6、7,介于一对陶瓷板2、3与导电层4之间,并与一对陶瓷板2、3及导电层4接触。

本发明授权陶瓷接合体、静电卡盘装置及陶瓷接合体的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种陶瓷接合体,其具备:一对陶瓷板,包含导电性物质;导电层及绝缘层,介于所述一对陶瓷板之间;及一对中间层,介于所述一对陶瓷板与所述导电层之间且与所述一对陶瓷板及所述导电层接触,所述导电层具有等离子体产生用电极、静电卡盘用电极、加热器电极中任一个或多个的功能,所述绝缘层设置于形成有所述导电层的部分以外的外缘部区域,接合所述一对陶瓷板,所述中间层由绝缘性物质构成,当将所述导电层的厚度设为t1、将所述中间层的总厚度设为t2时,由下述式1定义的所述中间层的厚度比R1为3%以上50%以下,R1=t2t1×100%1。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人住友大阪水泥股份有限公司,其通讯地址为:日本国东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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