华邦电子股份有限公司何宇峰获国家专利权
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龙图腾网获悉华邦电子股份有限公司申请的专利存储元件的失效模式分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114613688B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011395770.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权存储元件的失效模式分析方法是由何宇峰;廖国闵;林钰珮设计研发完成，并于2020-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本存储元件的失效模式分析方法在说明书摘要公布了：一种存储元件的失效模式分析方法，包括：利用检测系统来扫描晶圆，以产生所述晶圆的失效图形，并利用检测程序来取得所述晶圆中的单比特位的失效数量；依据字线布局、位线布局以及有源区布局定义出单比特位的分组表；对自对准双重图案化工艺中的至少一工艺分类出核心群组与空隙群组；以及分别统计所述核心群组与所述空隙群组中的单比特位的失效数量，以产生核心失效信息与空隙失效信息。
本发明授权存储元件的失效模式分析方法在权利要求书中公布了：1.一种存储元件的失效模式分析方法，包括：利用检测系统来扫描晶圆，以产生所述晶圆的失效图形，并利用检测程序来取得所述晶圆中的多个比特位的失效数量；依据字线布局、位线布局以及有源区布局定义出所述多个比特位的分组表；依据自对准双重图案化工艺中的至少一工艺将所述多个比特位分类出核心群组与空隙群组，其中所述核心群组具有第一多个比特位而所述空隙群组具有与所述第一多个比特位不同的第二多个比特位；以及分别统计所述核心群组中的所述第一多个比特位的失效数量与所述空隙群组中的所述第二多个比特位的失效数量，以产生核心失效信息与空隙失效信息。
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