ASML荷兰有限公司T·J·胡伊斯曼获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利使用基于扩散的模型的数值补偿SEM-诱发充电获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556516B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080073007.X，技术领域涉及：H01J37/22；该发明授权使用基于扩散的模型的数值补偿SEM-诱发充电是由T·J·胡伊斯曼;S·B·汉森设计研发完成，并于2020-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用基于扩散的模型的数值补偿SEM-诱发充电在说明书摘要公布了：公开了用于图像增强的系统和方法。用于增强图像的方法可以包括获取扫描电子显微镜SEM图像。该方法还可以包括模拟与SEM图像的位置相关联的扩散电荷。该方法还可以包括基于SEM图像和扩散电荷来提供增强的SEM图像。
本发明授权使用基于扩散的模型的数值补偿SEM-诱发充电在权利要求书中公布了：1.一种用于增强图像的方法，所述方法包括：获取样本的扫描电子显微镜SEM图像；模拟与所述SEM图像的位置相关联的SEM诱发的充电效应，其中经模拟的所述SEM诱发的充电效应包括通过在所述样本的表面之上扫描电子束而诱发的、在所述样本的所述表面上或附近累积的经模拟扩散电荷；以及基于所述SEM图像和经模拟的所述SEM诱发的充电效应，提供增强的SEM图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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