朗姆研究公司安德鲁·波尔斯获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利多站处理模块中用于晶片传送的主轴组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207798B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080056242.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权多站处理模块中用于晶片传送的主轴组件是由安德鲁·波尔斯;杰里米·普尔设计研发完成，并于2020-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本多站处理模块中用于晶片传送的主轴组件在说明书摘要公布了：提供了一种用于在多站处理模块中传送晶片的主轴组件，其包括：毂盘主体，所述毂盘主体被构造成围绕中心轴线旋转；多个末端执行器，每个末端执行器具有被构造成连接到所述毂盘主体的第一端和被构造成支撑晶片的第二端；多个盖；多个紧固件组件；其中，每个末端执行器的所述第一端通过相应的紧固件组件被夹持在相应的盖和所述毂盘主体的相应的外部之间，所述相应的紧固件组件包括提供一致夹持力的波形弹簧。
本发明授权多站处理模块中用于晶片传送的主轴组件在权利要求书中公布了：1.一种用于在多站处理模块中传送晶片的主轴组件，其包括：毂盘主体，所述毂盘主体被构造成围绕中心轴线旋转；多个末端执行器，每个末端执行器具有被构造成连接到所述毂盘主体的第一端和被构造成支撑晶片的第二端；多个盖；和多个紧固件组件；其中，每个末端执行器的所述第一端通过相应的紧固件组件被夹持在相应的盖和所述毂盘主体的相应的外部之间，所述相应的紧固件组件包括平垫圈和波形弹簧，所述波形弹簧位于所述毂盘主体和所述平垫圈之间并提供一致的夹持力；以及其中相应的紧固件组件包括按以下顺序排列的下列部件：筒形螺母、所述波形弹簧、所述平垫圈、贝氏Belleville垫圈以及螺钉。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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