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龙图腾网获悉泉州师范学院申请的专利基于平行平板分像的相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111487198B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010538859.3，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权基于平行平板分像的相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法是由廖廷俤;颜少彬设计研发完成，并于2020-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于平行平板分像的相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明申请提出一种基于相邻面完全等光程共焦成像装置的基本结构原理，在相邻双面成像光路中分别采用一块平行平板来实现相邻双面空间分离成像检测的新方法。与偏振分像法、双色分离成像法或时间差分辨成像法一样，该新方法可以获得半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，但无需使用偏振光学元件与偏振CMOS传感器（相机）、或彩色相机及其额外的图像处理，有效提高了检测装置的性价比与检测效率。

本发明授权基于平行平板分像的相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于平行平板分像的相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置，其特征在于：包括在光路方向上依次设置的CMOS或CCD相机、远心成像镜头、立方分束合像器、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明玻璃载物台，在半导体晶粒与立方分束合像器之间的光路上分别依次设有天面直角转像棱镜、第一玻璃平行平板和侧面直角转像棱镜、第二玻璃平行平板，侧面直角转像棱镜和天面直角转像棱镜分别位于半导体晶粒的正侧部和天面正上方，立方分束合像器与第一玻璃平行平板、天面直角转像棱镜在同一水平高度；侧面直角转像棱镜与第二玻璃平行平板、立方分束合像器位于远心成像镜头的光轴上，同时侧面直角转像棱镜的第一直角面与立方分束合像器的第一面相对，侧面直角转像棱镜的第二直角面与半导体晶粒侧面相对，侧面直角转像棱镜的斜面与远心成像镜头光轴倾斜设置；天面直角转像棱镜的两个直角面分别与半导体晶粒的天面和立方分束合像器的第二面相对；第一玻璃平行平板表面法线与其光路的光轴成一夹角，第二玻璃平行平板表面法线与其光路的光轴成一夹角，立方分束合像器第二面相背的第四面旁侧设有同轴外置照明光源，半导体晶粒的天面与侧面分别经直角转像棱镜、玻璃平行平板、立方分束合像器以完全等光程共焦成像在相机传感器面上，以在CMOS或CCD相机上获取半导体晶粒双面各自独立的像；所述立方分束合像器中心与侧面直角转像棱镜斜面中心距离D2+d，立方分束合像器与天面直角转像棱镜斜面在同一水平高度上，二者距离D2+d，侧面成像光路工作距WD=D2+d2，天面成像光路工作距WD=WD=D2+d2，D为透明玻璃载物台宽度，d为棱镜直角边长；半导体晶粒天面成像光路工作距WD=D2+d2=30mm，侧面成像光路工作距WD=D2+d2=30mm；所述第一、第二玻璃平行平板的厚度t=5.83mm，玻璃平行平板表面法线与光轴的夹角α=25°，平板玻璃材料为K9，计算得到双面像的间隔δ=1.8mm；所述天面直角转像棱镜的尺寸为15*15*15mm，侧面直角转像棱镜的尺寸15*15*15mm，立方分束合像器的尺寸为15*15*15mm；两个直角转像棱镜的反射面中心与半导体晶粒中心相连形成一个方形对称光路结构尺寸为37.5x37.5mm；所述同轴外置照明光源是单色光，或是具有一定光谱带宽的准单色光源或白光；工作时，双面照明光路：同轴外置照明光源经过立方分束合像器时被分为两束照明光束：一束光经天面直角转像棱镜和第一玻璃平行平板后照明位于玻璃载物转盘上的待测半导体晶粒的天面；而另一束照明光束经侧面直角转像棱镜和第二玻璃平行平板后照明待测半导体晶粒的侧面，两束照明光束分别照明半导体晶粒相邻的两个面；成像检测光路：被照明的半导体晶粒相邻的两个面产生漫射光，半导体晶粒天面的成像光束经天面直角转像棱镜入射到厚度为t且表面法线与光轴成一夹角α的第一玻璃平行平板上，从第一玻璃平行平板出射的成像光束向光轴一侧产生了一个位移δ1，然后经立方分束合像器反射抵达参考输出面上；而半导体晶粒侧面的成像光束经侧面直角转像棱镜入射到厚度为t且表面法线与光轴成一夹角α的第二玻璃平行平板上，从第二玻璃平行平板出射的成像光束向光轴另一侧也产生了一个位移δ2，然后经立方分束合像器透射抵达参考输出面上；从立方分束合像器输出相邻面的中间像间隔为δ=δ1+δ2并在CMOS或CCD相机上分别获得了双面各自独立的像。

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