朗姆研究公司保罗·康科拉获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于工件处理室的组成零件的多层涂层获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113243040B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980082914.8，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权用于工件处理室的组成零件的多层涂层是由保罗·康科拉;拉梅什·钱德拉塞卡拉;安德鲁·H·布伦宁格;托尼·沙琳·考沙尔设计研发完成，并于2019-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于工件处理室的组成零件的多层涂层在说明书摘要公布了：一种处理工具，其包含用于处理工件的处理室，该处理室包含涂覆有多层保护涂层的至少一个组成零件，该多层保护涂层包含a形成于该至少一个组成零件上的铝层，以及b形成于该铝层上的陶瓷涂层。在多种实施方案中，多层保护涂层可以在组装处理室之前或至少部分原位地在该处理室中施加至该至少一个组成零件上。
本发明授权用于工件处理室的组成零件的多层涂层在权利要求书中公布了：1.一种包含用于处理工件的处理室的处理工具，所述处理室包含具有多层涂层的受到机械应力作用的至少一个组成零件，所述多层涂层包含a形成于所述至少一个组成零件上的铝机械式保护层，所述铝机械式保护层包括25微米或更厚的厚度，以及b形成于所述铝机械式保护层上的沉积的陶瓷涂层，其中所述沉积的陶瓷涂层具有10微米或更薄的厚度，其中所述沉积的陶瓷涂层具有防氟保护作用，并且其中所述至少一个组成零件由含铁合金制成。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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