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龙图腾网恭喜极光先进雷射株式会社;国立大学法人九州大学申请的专利激光退火系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113383407B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980090884.5，技术领域涉及：H01L21/20；该发明授权激光退火系统是由妹川要;纳富良一;若林理;池上浩设计研发完成，并于2019-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光退火系统在说明书摘要公布了：激光退火系统包含：激光系统；以及激光退火装置，对被照射物照射第1脉冲激光和第2脉冲激光，激光退火装置包含：照射光学系统，将第1脉冲激光和第2脉冲激光引导至被照射物；移动机构，使第1脉冲激光和第2脉冲激光针对被照射物的照射位置相对移动；以及控制部，对激光系统进行控制，以使得对被照射物照射第1脉冲激光，在照射第1脉冲激光后，对被照射物中的被照射了第1脉冲激光的区域照射第2脉冲激光，激光系统包含：激光振荡器，输出脉冲激光；光学脉冲展宽器，对从激光振荡器输出的脉冲激光进行脉冲展宽；以及闸门，被配置于光学脉冲展宽器的延迟光路上，控制部通过控制闸门的开闭，对第1脉冲激光和第2脉冲激光的输出进行控制。

本发明授权激光退火系统在权利要求书中公布了：1.一种激光退火系统，其包含：激光系统，其输出第1脉冲时间宽度的第1脉冲激光和比所述第1脉冲时间宽度短的第2脉冲时间宽度的第2脉冲激光；以及激光退火装置，其对被照射物照射所述第1脉冲激光和所述第2脉冲激光，所述激光退火装置包含：照射光学系统，其将所述第1脉冲激光和所述第2脉冲激光引导至所述被照射物；移动机构，其使所述第1脉冲激光和所述第2脉冲激光针对所述被照射物的照射位置相对移动；以及控制部，其对所述激光系统进行控制，以使得对所述被照射物照射所述第1脉冲激光，在照射所述第1脉冲激光后，对所述被照射物中的被照射了所述第1脉冲激光的区域照射所述第2脉冲激光，所述激光系统包含：激光振荡器，其输出脉冲激光；光学脉冲展宽器，其对从所述激光振荡器输出的脉冲激光进行脉冲展宽；以及闸门，其被配置于所述光学脉冲展宽器的延迟光路上，所述控制部通过控制所述闸门的开闭，对所述第1脉冲激光和所述第2脉冲激光的输出进行控制。

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