恭喜长鑫存储技术有限公司曹盛宗获国家专利权
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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利对准标记及其形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111627888B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910149290.9，技术领域涉及：H01L23/544；该发明授权对准标记及其形成方法是由曹盛宗设计研发完成，并于2019-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本对准标记及其形成方法在说明书摘要公布了：一种对准标记及其形成方法，其中所述对准标记的形成方法，在基底上形成具有损坏处的对准标记后，进行修补工艺，形成修补层，对所述对准标记的损坏处进行修补，使得修补后的对准标记不存在缺陷或者即使存在缺陷，该缺陷已经不足以影响对准，因而将修补后的对准标记作为新的对准标记进行对准时，使得对准过程可以顺利进行，同时保证对准的精度。
本发明授权对准标记及其形成方法在权利要求书中公布了：1.一种对准标记的形成方法，其特征在于，包括：提供基底，所述基底包括对准标记区域和器件区域；在所述基底上的对准标记区域中形成对准标记，所述对准标记存在损坏处；在所述基底上形成刻蚀停止层，所述刻蚀停止层覆盖所述器件区域以及所述存在损坏处的对准标记；在所述刻蚀停止层上形成掩膜材料层；刻蚀所述掩膜材料层，在所述存在损坏处的对准标记上形成新的对准标记；去除所述存在损坏处的对准标记上方之外的刻蚀停止层。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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