TDK株式会社W·帕尔获国家专利权
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龙图腾网获悉TDK株式会社申请的专利具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113942974B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111193377.X，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方法是由W·帕尔设计研发完成，并于2018-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方法在说明书摘要公布了：具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方法。公开了一种在其载板（CB）中具有介质入口（MO）的MEMS传感器（1），其具有封闭介质入口的整体过滤器网（MSH）。可以在载板的整个表面之上以非结构化的形式施加网。然后，执行结构化以优选地同时产生形成过滤器网的穿孔。
本发明授权具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方法在权利要求书中公布了：1.一种制造MEMS传感器的方法，包括步骤-提供具有介质入口MO的载板CB，-将箔F施加到载板的顶表面上，完全覆盖介质入口，-在箔F的穿孔区域PA中提供穿孔PF，穿孔区域PA至少部分地在介质入口MO的区域之上延伸，其中穿孔形成过滤器网并且箔F在介质入口MO的区域中具有1μm至10μm的厚度，-将具有带有感测区域的表面的MEMS芯片MC安装在载板CB的顶表面上，使得要被感测的介质可通过介质入口MO到达感测区域；其中箔F借助于粘合剂接合到的顶表面；其中箔F在B阶段中包括聚合物，其充当箔和粘合剂，通过层压施加箔F，箔在施加之后固化。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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