南京波长光电科技股份有限公司沈思思获国家专利权
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龙图腾网获悉南京波长光电科技股份有限公司申请的专利一种大数值孔径混波直写光刻镜头获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119960271B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510431053.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种大数值孔径混波直写光刻镜头是由沈思思;丁志伟;张绣锐;李林峰;王国力;朱敏;吴玉堂设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大数值孔径混波直写光刻镜头在说明书摘要公布了：本发明涉及一种大数值孔径混波直写光刻镜头，所述镜头包括第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组，从物方侧至像方侧方向上，第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组沿光的轴线方向依次排布；采用平面玻璃和14个透镜组成，兼具紫外宽光谱、物方数值孔径较大、整体色差较小等优势。
本发明授权一种大数值孔径混波直写光刻镜头在权利要求书中公布了：1.一种大数值孔径混波直写光刻镜头，其特征在于：所述镜头包括物方侧至像方侧方向上沿光的轴线方向依次排布的第一透镜群组、第二透镜群组、光阑、第三透镜群组和第四透镜群组；所述第一透镜群组包括依次排布的平板玻璃、具有负光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜和具有正光焦度的第三透镜；所述第二透镜群组包括依次排布的具有负光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜、具有正光焦度的第六透镜和具有负光焦度的第七透镜；所述第三透镜群组包括依次排布的具有负光焦度的第八透镜、具有正光焦度的第九透镜、具有正光焦度的第十透镜、具有负光焦度的第十一透镜；所述第四透镜群组包括依次排布的具有正光焦度的第十二透镜、具有正光焦度的第十三透镜、具有正光焦度的第十四透镜；所述镜头的物方和像方的主波长远心度均小于0.1，物方数值孔径为NA，0.1≤NA≤0.15，像方数值孔径为NA’，0.078≤NA’≤0.12；镜头共轭距为L，550mm≤L≤650mm。
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