深圳镭赫技术有限公司何小凤获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳镭赫技术有限公司申请的专利监测系统及其监测方法、光学系统及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119935891B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510424060.4，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权监测系统及其监测方法、光学系统及其工作方法是由何小凤;李青格乐;飞利浦·肖恩·加斯塔尔多设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本监测系统及其监测方法、光学系统及其工作方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种监测系统及其监测方法、光学系统及其工作方法，该监测系统包括第一光学组件、第二光学组件和调节模块。调节模块用于同步调节第一反射镜和第二反射镜相对样品表面的法平面的旋转角度，以使样品沿垂直于表面高度不同且沿样品表面相同的点反射的第一照明光形成第一信号光被第一探测器的同一位置采集。提高样品表面的检测精度。
本发明授权监测系统及其监测方法、光学系统及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种监测系统，其特征在于，包括：第一光学组件，包括第一反射镜，所述第一反射镜用于反射第一照明光并使第一照明光斜入射至样品表面，所述样品表面反射所述第一照明光形成第一信号光；第二光学组件，包括第二反射镜、成像组件和第一探测器，所述成像组件用于利用第一信号光对所述样品表面成像至第一探测器，所述第一探测器用于根据所述第一信号光获取样品表面的检测图像，并在所述第一探测器的光敏面形成光斑，所述第二反射镜用于使处于预设校准位置的样品表面反射的第一信号光在第一探测器的光敏面形成的光斑处于预设位置；预设校准位置是对样品表面进行检测时样品所处的高度位置；调节模块，用于同步调节所述第一反射镜和所述第二反射镜相对所述样品表面的法平面的旋转角度，以使所述样品沿垂直于表面高度不同且沿样品表面相同的点反射的所述第一照明光形成第一信号光被所述第一探测器的同一位置采集；所述调节模块用于使所述第一照明光对所述样品的入射位置沿平行于汇聚面具有第一改变量，所述第一探测器的光斑在物方的共轭点沿平行于所述第一探测器的光敏面在物方共轭面方向上具有第二改变量，且所述第一改变量等于所述第二改变量。
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