广州芯知科技有限公司郭昂获国家专利权
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龙图腾网获悉广州芯知科技有限公司申请的专利一种翻转机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920751B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510408593.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种翻转机构是由郭昂;王绍勇;孙振聪设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种翻转机构在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种翻转机构，包括框架，框架上通过嵌设的轴承压环和轴承调整环装配有旋转机构，旋转机构通过安装在框架一侧的驱动机构驱动翻转，旋转机构包括经传动轴连接的一组旋转圆盘；夹爪机构，包括对称设置在旋转圆盘上且在径向方向上交错配置的内夹爪组件和外夹爪组件；内夹爪组件与外夹爪组件各自包括有至少一个可伸缩的夹爪手指，并经过其伸缩动作使基板在旋转机构翻转下进行锁定和释放。通过这两个过程的往复循环，使翻转装置能够自动且连续地翻转基板，减少中间时间间隔，提高翻转效率，同时利用设置在内外夹爪上的若干个夹爪手指，使翻转机构能够对多层基板进行同时翻转，进一步提高翻转效率。
本发明授权一种翻转机构在权利要求书中公布了：1.一种翻转机构，包括框架10，所述框架10上通过嵌设的轴承压环11和轴承调整环12装配有旋转机构20，所述旋转机构20通过安装在框架10一侧的驱动机构30驱动翻转，其特征在于：所述旋转机构20包括经传动轴23连接的一组旋转圆盘21；夹爪机构40，包括对称设置在旋转圆盘21上且在径向方向上交错配置的内夹爪组件41和外夹爪组件42；所述内夹爪组件41与外夹爪组件42各自包括有至少一个可伸缩的夹爪手指43，并经过其伸缩动作使基板在旋转机构20翻转下进行锁定和释放；所述内夹爪组件41与外夹爪组件42均通过气缸安装件44安装有平移气缸45，且分别与平移气缸45输出端连接的外侧夹爪安装板423比内侧夹爪安装板413长；所述外侧夹爪安装板423的一端固定连接有夹爪连接件一424，所述内侧夹爪安装板413一端固定连接的夹爪连接件二414垂直高度低于夹爪连接件一424高度。
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