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龙图腾网获悉苏州亿波达微系统技术有限公司申请的专利单轴面外MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119860757B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510352680.1，技术领域涉及：G01C19/5733；该发明授权单轴面外MEMS陀螺仪是由张裕华;周景川;徐良设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本单轴面外MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了：本发明涉及一种单轴面外MEMS陀螺仪，包括衬底、锚点单元、运动单元以及电极单元，运动单元包括四个驱动框，四个驱动框沿x方向和y方向阵列布置，驱动框具有沿x方向线性运动的自由度，沿x方向布置的两个驱动框之间设有沿x方向布置的两个质量块，质量块通过第一解耦梁连接沿x方向相邻的驱动框，沿x方向布置的两个质量块之间设有检测框，检测框具有绕y方向摆动的自由度，检测框通过第二解耦梁连接沿x方向相邻的两个质量块，电极单元包括驱动模态激励电极和敏感模态检测电极。采用二级解耦的方式实现驱动框运动与检测框运动相解耦，能够从结构层面上降低陀螺正交误差，进一步降低陀螺的零偏指标，为实现高性能单轴面外MEMS陀螺仪打下基础。

本发明授权单轴面外MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种单轴面外MEMS陀螺仪，其特征在于，包括：衬底；锚点单元，所述锚点单元固设于所述衬底上，所述锚点单元包括第一锚点和第二锚点；运动单元，包括四个驱动框，所述四个驱动框沿x方向和y方向阵列布置，所述驱动框通过第一弹簧梁连接所述第一锚点，所述驱动框具有沿x方向线性运动的自由度，沿x方向布置的两个所述驱动框之间设有沿x方向布置的两个质量块，所述质量块通过第一解耦梁连接沿x方向相邻的所述驱动框，沿x方向布置的两个所述质量块之间设有检测框，所述检测框通过第二弹簧梁连接所述第二锚点，所述检测框具有绕y方向摆动的自由度，所述检测框通过第二解耦梁连接沿x方向相邻的两个所述质量块；电极单元，所述电极单元固设于所述衬底上，包括驱动模态激励电极和敏感模态检测电极，所述驱动模态激励电极用于驱动所述驱动框沿x方向线性运动，所述敏感模态检测电极用于检测所述检测框绕y方向的面外摆动位移；其中，所述质量块为凹字形，所述质量块具有第二凹槽，所述第二凹槽具有第二槽口、位于所述第二槽口侧方的第二槽壁以及正对所述第二槽口的第二槽底，沿x方向布置的两个所述第二槽口相对；所述检测框嵌入所述第二凹槽内，所述检测框为工字型，所述检测框具有两个第三凹槽，所述第三凹槽具有第三槽口，同一所述检测框的两个第三槽口分别朝向Y轴正方向和Y轴负方向。

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