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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种抛光设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119839769B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510338385.0，技术领域涉及：B24B37/20；该发明授权一种抛光设备及方法是由朱亮设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抛光设备及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆加工领域，尤其是涉及一种抛光设备及方法，抛光装置包括：抛光盘，所述抛光盘上粘接有抛光垫；第一机构，所述第一机构用于检测所述抛光垫和所述抛光盘之间是否存在气泡；以及第二机构，所述第二机构相应于所述第一机构，所述第二机构用于消除所述抛光垫和所述抛光盘之间的气泡。达到了减小气泡对抛光品质影响的技术效果。

本发明授权一种抛光设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种抛光装置，其特征在于，包括：抛光盘（100），所述抛光盘（100）上粘接有抛光垫（110）；第一机构（200），所述第一机构（200）用于检测所述抛光垫（110）和所述抛光盘（100）之间是否存在气泡（120）；以及第二机构（300），所述第二机构（300）相应于所述第一机构（200），所述第二机构（300）用于消除所述抛光垫（110）和所述抛光盘（100）之间的气泡（120）；其中，所述第二机构（300）包括：第二支架（310），所述第二支架（310）可活动；载体（320），所述载体（320）至少具有部分圆弧的周侧面，所述载体（320）转动连接于所述第二支架（310）上；细针（330），所述细针（330）设置有多个且均匀连接于所述载体（320）的周侧面上；定义所述细针（330）远离所述载体（320）的一端为第一端（332），所述第一端（332）呈尖锐设置，使所述细针（330）随所述载体（320）滚动扎入气泡（120）以使气泡（120）消除；所述载体（320）的内部具有腔体（321），所述腔体（321）呈负压；所述细针（330）的内部设置有流道（331），所述流道（331）与所述腔体（321）连通，使得所述细针（330）扎入气泡（120）时可通过负压对气泡（120）进行吸取；定义所述细针（330）位于所述载体（320）内部的一端为第二端（333）；所述细针（330）活动连接于所述载体（320）的周侧面，且所述第二端（333）位于所述载体（320）内部；使得所述细针（330）可相较于所述载体（320）的周侧面伸缩；所述载体（320）包括阻挡件（324），所述阻挡件（324）位于所述载体（320）的内部，所述阻挡件（324）用于与所述细针（330）的第二端（333）配合以使流道（331）封堵或开启；所述细针（330）随所述载体（320）滚动而形成有第一状态和第二状态：在第一状态下，所述细针（330）伸出，且所述细针（330）与所述气泡（120）不接触，所述细针（330）的第二端（333）受所述阻挡件（324）封堵；在第二状态下，所述细针（330）刺入气泡（120）使所述细针（330）至少部分回缩，所述细针（330）的第二端（333）脱离于所述阻挡件（324）使流道（331）开启，使所述腔体（321）内的负压通过所述流道（331）对气泡（120）进行吸取。

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