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深圳市金鼎胜光电股份有限公司陈新民获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市金鼎胜光电股份有限公司申请的专利LED环形光源测试方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119804465B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510293731.8,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权LED环形光源测试方法、装置、设备及存储介质是由陈新民;王洁;唐建明;张桂英;周正恩设计研发完成,并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

LED环形光源测试方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种LED环形光源测试方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:对安装在角度可调支架上的LED环形光源与标准硅晶圆模拟板进行标定初始化处理,获取基准测试序列;根据基准测试序列控制LED环形光源照射标准硅晶圆模拟板,并在不同速度档位下进行多区域光场采集,获取多维度测试数据;对多维度测试数据进行特性分析,得到光场空间特性数据、光强波动频率特性数据和缺陷检出率评估结果,进而构建光场畸变模型;根据光场畸变模型计算光强均匀度偏差值和缺陷检出能力评分,并生成测试评估报告。该方法通过多区域采集和数据分析,构建光场畸变模型,能够准确评估光强分布的均匀度和缺陷检出能力。提高LED环形光源在硅晶圆高精度检测中的效果。

本发明授权LED环形光源测试方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种LED环形光源测试方法,其特征在于,所述LED环形光源测试方法包括:对安装在角度可调支架上的LED环形光源与标准硅晶圆模拟板之间的位置关系进行测量,得到位置参数数据,并根据所述位置参数数据,设定所述标准硅晶圆模拟板的运动参数;根据所述运动参数,配置所述LED环形光源的照明参数,得到照明角度、工作距离和光强等级的参数组合;对所述运动参数和所述参数组合进行时序匹配处理,得到运动-照明联动控制方案,并根据所述运动-照明联动控制方案生成基准测试序列;根据所述基准测试序列控制所述LED环形光源对所述标准硅晶圆模拟板进行照射,并对所述LED环形光源照射在标准硅晶圆模拟板上的光场在不同速度档位下进行多区域采集,得到多维度测试数据;对所述多维度测试数据进行特性分析处理,得到光场空间特性数据、光强波动频率特性数据和缺陷检出率评估结果,并基于所述光场空间特性数据、光强波动频率特性数据和缺陷检出率评估结果构建表征光强分布畸变程度的光场畸变模型;根据所述光场畸变模型计算所述LED环形光源的光强均匀度偏差值和缺陷检出能力评分,并根据所述光强均匀度偏差值和缺陷检出能力评分生成所述LED环形光源的测试评估报告。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市金鼎胜光电股份有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区石岩街道浪心社区洲石路49号凯欣达科技园厂房一二层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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