晓睿真空设备(嘉兴)有限公司文继志获国家专利权
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龙图腾网获悉晓睿真空设备(嘉兴)有限公司申请的专利一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119776789B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510288251.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置是由文继志;隆旭辉设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置，其中磁轭组件连接于外壳组件上，外壳组件和磁轭组件位于靶材内，包括以及摆动组件；第一终端组件以及第二终端组件分别设于外壳组件的两端，且与磁棒的摆动轴线同轴，外壳组件通过第一终端组件和第二终端组件可转动的连接于机架上；磁轭组件连接于外壳组件上，摆动组件驱动磁轭组件沿其回转轴线摆动，摆动电机正向或反向转动的过程中，便会使得外壳体相对接头主体的轴线进行相反方向的转动，通过对转动角度和转动幅度的控制，遍实现驱动磁棒沿其回转轴线摆动，进而实现磁轭组件的摆动，以实现对弧面产品的磁场更加均匀的分布，提高产品镀层表面的均匀度。
本发明授权一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置，其中磁轭组件20连接于外壳组件10上，所述外壳组件10和所述磁轭组件20位于靶材100内，其特征在于：包括固设于所述外壳组件10内的摆动组件80,所述外壳组件10可转动的连接于机架上；所述磁轭组件20设置于所述外壳组件10外部，所述摆动组件80包括摆动电机81,所述摆动电机81固定安装于所述外壳组件10上，所述摆动电机81的输出端由所述机架限制转动；所述摆动电机81的输出端转动，反作用力带动所述摆动电机（81）反向转动，进而驱动所述外壳组件10沿其回转轴线摆动，以带动所述磁轭组件20沿所述外壳组件10回转轴线摆动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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