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龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119596576B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411950808.6，技术领域涉及：G02F1/035；该发明授权基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器是由李明;彭杰;谢毓俊;邱枫;赵洸铭;李伟;王鹏设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器在说明书摘要公布了：本公开提供了一种基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器，包括：第一电极，第一电极上形成有开口；第二电极，设置在开口内，第二电极和第一电极围成环形空间；环形波导，设置在环形空间内，环形波导基于锆钛酸铅材料制备且采用跑道微环结构，环形波导包括第一直线波导，第一直线波导位于开口的内侧，第一直线波导与第一电极、第二电极之间形成有金属等离激元表面波。本发明的微环调制器采用高电光系数的锆钛酸铅，能够支撑起整个调制器的高效率调制的功能，同时，利用金属等离激元表面波的高传输损耗特性，减少环形谐振腔内光子寿命，从而实现微环调制器的低Q值，提高光学调制带宽，最终实现高速率的信号调制。

本发明授权基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器在权利要求书中公布了：1.一种基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器，其特征在于，包括： 第一电极，所述第一电极上形成有开口； 第二电极，设置在所述开口内，所述第二电极和所述第一电极围成环形空间； 环形波导，设置在所述环形空间内，所述环形波导基于锆钛酸铅材料制备且采用跑道微环结构，所述环形波导包括： 第一直线波导，位于所述开口的内侧，所述第一直线波导分别贴合于所述第一电极、所述第二电极，以在所述第一直线波导与所述第一电极、所述第二电极之间形成金属等离激元表面波； 宽度渐变波导，连接所述第一直线波导，所述宽度渐变波导与所述第一电极、第二电极之间具有间隔，所述宽度渐变波导的宽度沿着远离所述第一直线波导的方向逐渐增加； 弧形波导，连接所述宽度渐变波导，所述弧形波导的宽度和所述宽度渐变波导的最大宽度相等，所述宽度渐变波导与所述第一电极、第二电极之间的间隔沿着远离所述第一直线波导的方向逐渐增加； 第二直线波导，位于所述开口的外侧； 所述微环调制器还包括： 直通波导，基于锆钛酸铅材料制备，所述直通波导包括第三直线波导，所述第三直线波导与所述第二直线波导相互耦合。

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