无锡松煜科技有限公司苏文涛获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡松煜科技有限公司申请的专利一种用于化学气相沉积管式炉的石英管的镀膜设备、镀膜方法及石英管获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119392201B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411389204.9，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权一种用于化学气相沉积管式炉的石英管的镀膜设备、镀膜方法及石英管是由苏文涛;王洪喆;宋银海;陈庆敏;李丙科设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于化学气相沉积管式炉的石英管的镀膜设备、镀膜方法及石英管在说明书摘要公布了：本发明属于等离子体镀膜技术领域，涉及一种用于化学气相沉积管式炉的石英管的镀膜设备、镀膜方法及石英管，其中，镀膜设备包括镀膜炉体、设置在镀膜炉体内壁上的外电极、设置在镀膜炉体内腔的内电极、与内电极和外电极电连的射频电源、为镀膜炉体内腔提供热量的加热结构、设置在镀膜炉体内腔的用于支托待镀膜石英管的支托结构以及设置在镀膜炉体端部的进气结构和出气结构，所述外电极与所述内电极之间形成反应区域，镀膜时，待镀膜石英管套设于所述内电极外，位于所述反应区域内。本发明形成于石英管内表面的薄膜，致密性好，厚度均匀性佳，能够有效防止石英管在化学气相沉积过程中的破裂。
本发明授权一种用于化学气相沉积管式炉的石英管的镀膜设备、镀膜方法及石英管在权利要求书中公布了：1.一种用于化学气相沉积管式炉的石英管的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜炉体、设置在镀膜炉体内壁上的外电极、设置在镀膜炉体内腔的内电极、与内电极和外电极电连的射频电源、为镀膜炉体内腔提供热量的加热结构、设置在镀膜炉体内腔的用于支托待镀膜石英管的支托结构以及设置在镀膜炉体端部的进气结构和出气结构，所述外电极与所述内电极之间形成反应区域，镀膜时，待镀膜石英管套设于所述内电极外，位于所述反应区域内，进气结构向待镀膜石英管与内电极之间通入工作气体，工作气体在内电极和外电极通电作用下，电解成等离子体。
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