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芜湖长信科技股份有限公司孙江海获国家专利权

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龙图腾网获悉芜湖长信科技股份有限公司申请的专利一种玻璃基板蚀刻机腔室结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222980453U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420935804.X,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种玻璃基板蚀刻机腔室结构是由孙江海;郑建军;许沭华;俞良;陈云飞;夏大映;王茹;周强然;程亚鑫;潘昊设计研发完成,并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种玻璃基板蚀刻机腔室结构在说明书摘要公布了:本实用新型所提供的玻璃基板蚀刻机腔室结构包括PC腔室本体、视窗结构以及传感器组件,视窗结构均匀设置在PC腔室本体上,传感器组件设置在视窗结构内,视窗结构能够避免外部光线对传感器组件及蚀刻机产生影响,传感器组件能够及时检测PC腔室本体内玻璃基板的状态,能够及时识别发生破片的玻璃基板,从而避免发生连续破片,本实用新型所提供的玻璃基板蚀刻机腔室结构能够监控PC腔室内玻璃基板搬运状态的,能够及时发现PC腔室内玻璃基板是否破片的情况,能够避免连续破片,降低生产成本。

本实用新型一种玻璃基板蚀刻机腔室结构在权利要求书中公布了:1.一种玻璃基板蚀刻机腔室结构,其特征在于,包括PC腔室本体10、视窗结构20以及传感器组件30,所述视窗结构20均匀设置在所述PC腔室本体10上,所述传感器组件30设置在所述视窗结构20内, 所述视窗结构20包括第一方框21、石英板22、第二方框23以及遮光罩24,所述第二方框23上设有与所述石英板22相适配的凹槽231,所述石英板22嵌入所述凹槽231内,第一方框21设置在所述石英板22远离所述第二方框23的一侧,所述遮光罩24设置在所述第二方框23上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芜湖长信科技股份有限公司,其通讯地址为:241009 安徽省芜湖市中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区汽经二路以东;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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