拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司李蓬勃获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种具有补充结构的紫外灯管和一种紫外灯室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118571780B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311638760.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种具有补充结构的紫外灯管和一种紫外灯室是由李蓬勃;王攀设计研发完成，并于2023-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有补充结构的紫外灯管和一种紫外灯室在说明书摘要公布了：本发明公开了一种紫外灯管的补充结构和一种紫外灯室。紫外灯管的补充结构包括：补充部，位于灯管本体的两侧的尾端，用以提供补充紫外光；以及限位部，设于所述补充部的尾端，用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体。通过上述紫外灯管的补充结构，能够增强紫外灯管的边缘光强，从而提升紫外灯管的整体光照均匀性，有利于提升工艺效果的均匀性。
本发明授权一种具有补充结构的紫外灯管和一种紫外灯室在权利要求书中公布了：1.一种具有补充结构的紫外灯管，用于半导体制程中的工艺处理，其特征在于，所述紫外灯管包括：灯管本体和补充结构， 所述灯管本体为多段式结构，至少包括三个收腰结构，第一收腰结构位于所述灯管本体的中间，第二收腰结构和第三收腰结构对称地分布于所述第一收腰结构的两侧，所述第二收腰结构和所述第三收腰结构的收腰直径相同，并且大于所述第一收腰结构的收腰直径， 所述补充结构包括补充部，位于所述灯管本体的两侧的尾端，用以提供补充紫外光，且所述补充部包括所述灯管本体的两侧的尾端增大至第一直径距离，以及限位部，设于所述补充部的尾端，用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体，其中，所述补充部的直径最大。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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