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西安奕斯伟材料科技有限公司杨文武获国家专利权

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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技有限公司申请的专利坩埚传动轴、坩埚传动组件和坩埚传动组件的应用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115874271B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211522667.9,技术领域涉及:C30B15/10;该发明授权坩埚传动轴、坩埚传动组件和坩埚传动组件的应用方法是由杨文武;金珍根;车贤湖;王一妃设计研发完成,并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

坩埚传动轴、坩埚传动组件和坩埚传动组件的应用方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种坩埚传动轴,用于与坩埚连接以带动所述坩埚转动,包括传动轴本体,所述传动轴本体的外周面上环绕设置有凸缘,在所述传动轴本体的径向方向上,所述凸缘具有远离所述传动轴本体的外侧面,所述外侧面在所述传动轴本体的轴向方向上的正投影呈费马曲线形状。本发明还涉及一种坩埚传动组件、坩埚传动组件的应用方法。利用费马曲线的特殊形状,以及费马曲线方程,可以获得预设时间段内的角速度,从而获取预设时间段内的坩埚的转速,相比在坩埚旋转一周后再获取的转速,有益于参数的精密控制,有益于提升晶棒品质。

本发明授权坩埚传动轴、坩埚传动组件和坩埚传动组件的应用方法在权利要求书中公布了:1.一种坩埚传动组件,其特征在于,包括: 坩埚传动轴,与坩埚连接,用于带动坩埚转动,所述坩埚传动轴包括传动轴本体,所述传动轴本体的外周面上环绕设置有凸缘,在所述传动轴本体的径向方向上,所述凸缘具有远离所述传动轴本体的外侧面,所述外侧面在所述传动轴本体的轴向方向上的正投影呈费马曲线形状; 测距单元,用于获得预设位置与所述凸缘的外侧面之间的距离b; 角速度获取单元,用于获得所述传动轴本体在预设时间段t内旋转的角速度值ω,所述角速度获取单元包括极角获取部和角速度获取部,所述预设时间段t为起始时刻和终止时刻的时间差; 所述极角获取部用于根据所述测距单元获得的距离b,以及费马曲线方程获取所述起始时刻对应的极角α和所述终止时刻对应的极角α′; 所述角速度获取部,用于根据以下公式获取所述角速度ω, ω=Δαt; Δα=|α-α′|; 其中,费马曲线方程为R=k*α^0.5*cosα,R=a-b; K为系数,R为在所述传动轴本体径向方向上,所述外侧面与所述传动轴本体的轴向中心线之间的距离,a为所述预设位置到所述传动轴本体的轴向中心线之间的距离; 所述测距单元包括测距传感器,所述预设位置即为所述测距传感器所在的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技有限公司,其通讯地址为:710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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