恭喜韩华株式会社李白朱获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜韩华株式会社申请的专利配备升降器部的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115206863B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110887931.8，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权配备升降器部的基板处理装置是由李白朱;徐东源;黄载淳设计研发完成，并于2021-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本配备升降器部的基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明可以包括：盘部，为了对基板进行处理而配置在腔室内部；袋部，在盘部中配备多个，用于对各个基板进行安置，相对于盘部的中心等角度排列；以及，升降器部，用于对基板进行升降。升降器部可以分别配备于各个袋部并在袋部的中心进行上下升降。
本发明授权配备升降器部的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 盘部，为了对基板进行处理而配置在腔室内部； 袋部，在盘部中配备多个，用于对各个基板进行安置，相对于盘部的中心等角度排列；以及， 升降器部，用于对基板进行升降； 上述升降器部分别配备于各个上述袋部并在上述袋部的中心进行上下升降， 其中，在上述升降器部中配备与上述基板相向的支撑部， 其中，上述支撑部水平平行地与上述基板发生面接触， 其中，上述支撑部包括多个支撑片以及中央部， 其中，上述中央部的中心与上述袋部的中心一致， 上述支撑片的一端与上述中央部连接，而上述支撑片以上述中央部的中心为基准等角度排列并以放射状延长。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人韩华株式会社，其通讯地址为：韩国首尔特别市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号